Способ синтеза наноалмазов и наноразмерных частиц карбида кремния в поверхностном слое кремния
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Autor kompanije: | |
| Daljnji autori: | , |
| Sažetak: | опубл. 10.07.10 В патентуемом способе синтез SiC проводят путем имплантации ускоренных ионов углерода в подложку из Si. В отличие от прототипа имплантацию проводят в импульсном режиме с длительностью импульса ионного пучка в диапазоне 10{-8}-10{-6} с, плотностью тока в импульсе 10-10{2} А/см{2}, при энергии ионов 10{4}-10{6} эВ и при числе импульсов воздействия пучка на мишень 10{2}-10{4}. Числом импульсов контролируется число внедренных в поверхностный слой атомов углерода, которое определяет объемную долю синтезированных частиц. А параметрами пучка (плотностью тока, энергией ионов, длительностью импульса) задаются требуемые для синтеза наноалмазов и наночастиц SiC температура и давление. Предложенный способ позволяет методом импульсной ионной имплантации с определенными режимами формировать в поверхностном слое монокристаллич. кремниевой мишени поликристаллы SiC и наноалмазов. Способ м. б. достаточно просто реализован в технол. линиях, так как требует для своего осуществления всего одну вакуумную установку, которая в настоящее время достаточно технически проработана. Способ м. б. использован при получении новых материалов. |
| Izdano: |
|
| Teme: | |
| Online pristup: | http://www1.fips.ru/Archive/PAT/2010FULL/2010.07.10/DOC/RUNWC1/000/000/002/393/989/document.pdf |
| Format: | Elektronički Knjiga |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643687 |
Slični predmeti
Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода
Izdano: (2009)
Izdano: (2009)
Способ получения поликристаллического кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ получения поликристаллического кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Реактор водородного восстановления кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ очистки внутренних поверхностей установок водородного восстановления кремния от полисиланхлоридов
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ формирования слоя поликристаллического кремния на стержневой основе
Izdano: ()
Izdano: ()
Установка для получения поликристаллического кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Иммуномодулирующая и противоинфекционная композиция
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ получения диоксида кремния
od: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Izdano: ()
od: Дьяченко А. Н. Александр Николаевич
Izdano: ()
Установка для получения стержней поликристаллического кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ вывода полисиланхлоридов из парогазовой смеси, отходящей от установок водородного восстановления кремния, и устройство для его осуществления
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ получения трихлорсилана плазмохимическим гидрированием тетрахлорида кремния и устройство для его осуществления
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ получения особо чистого кремния
od: Андреев А. А. Артем Андреевич
Izdano: ()
od: Андреев А. А. Артем Андреевич
Izdano: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Разъемный реактор для получения стержней поликристаллического кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ получения композиционного материала на основе политетрафторэтилена и диоксида кремния
od: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Izdano: ()
od: Кантаев А. С. Александр Сергеевич
Izdano: ()
Способ переработки кубового остатка, содержащего полисиланхлориды
Izdano: ()
Izdano: ()
Свет из карбида кремния
od: Носов Ю. Р.
Izdano: (2004)
od: Носов Ю. Р.
Izdano: (2004)
Влияние коллоидного раствора кремния на морфометрические параметры пшеницы
od: Макаров Б. И.
Izdano: (2018)
od: Макаров Б. И.
Izdano: (2018)
Способ прямого восстановления галогенидов
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ измерения энергии, поглощенной газом в замкнутом реакторе
od: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Izdano: ()
od: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Izdano: ()
Способ вольтамперометрического определения наночастиц Fe[2]O[3] на угольно-пастовом электроде
od: Дубова Н. М. Надежда Михайловна
Izdano: ()
od: Дубова Н. М. Надежда Михайловна
Izdano: ()
Фтороаммонийный способ получения солнечного кремния
od: Андреев А. А. Артем Андреевич
Izdano: (2008)
od: Андреев А. А. Артем Андреевич
Izdano: (2008)
Механизм релаксации Ландау-Румера тепловых и высокочастотных фононов в кубических кримталлах германия, кремния и алмаза
od: Кулеев И. Г.
Izdano: (2004)
od: Кулеев И. Г.
Izdano: (2004)
Cпособ получения синтетического диоксида кремния высокой чистоты № 2020133873 заявлено: 15.10.2020 опубликовано: 17.05.2021
Izdano: ()
Izdano: ()
Устройство для регулируемого нагревания кремниевых стержней
Izdano: ()
Izdano: ()
Способ получения наноразмерных оксидов металлов из металлоорганических прекурсоров
Izdano: ()
Izdano: ()
Получение кремния методом механохимического синтеза
Izdano: (2012)
Izdano: (2012)
Технология полупроводникового кремния
Izdano: (Москва, Металлургия, 1992)
Izdano: (Москва, Металлургия, 1992)
Электролизер
Izdano: ()
Izdano: ()
Неорганические бескислородные соединения кремния учебное пособие
od: Торопов Н. А. Никита Александрович
Izdano: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)
od: Торопов Н. А. Никита Александрович
Izdano: (Ленинград, Изд-во ЛТИ, 1964)
Производство полупроводникового кремния
od: Салли И. В. Илья Васильевич
Izdano: (Москва, Металлургия, 1970)
od: Салли И. В. Илья Васильевич
Izdano: (Москва, Металлургия, 1970)
Способ измерения распределения плотности тока в пучке заряженных частиц
od: Сорокин В. Б. Владимир Борисович
Izdano: ()
od: Сорокин В. Б. Владимир Борисович
Izdano: ()
Способ контроля изменения фазового состава газовой смеси в замкнутом реакторе
od: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Izdano: ()
od: Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович
Izdano: ()
Способ получения фтороводорода
od: Петлин И. В. Илья Владимирович
Izdano: ()
od: Петлин И. В. Илья Владимирович
Izdano: ()