Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью

Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Современные научные исследования и инновации: научно-практический журнал.— , 2011- № 4.— 2015
Hovedforfatter:	Юрьева А. В. Алёна Викторовна
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Summary:	Заглавие с экрана В работе рассмотрена магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью, предназначенная для получения толстых (десятки…сотни микрометров) металлических покрытий с высокими скоростями осаждения (десятки нанометров в секунду). В случае распыления из жидкой фазы, возможен переход к режиму работы магнетрона на собственных парах мишени. Это позволяет получать более чистые покрытия и способствует повышению рабочих характеристик. The paper presents a review of original investigations on magnetron sputtering systems with liquid phase target. The basic feature of such technique is a generation of liquid phase in solid state target. It provides to form a magnetron discharge on target vapor. For this reason, magnetron sputtering systems with liquid target is used to deposition of thick metal films (10…100 µm) with high deposition rate (10…100 nm per second). Generally, it makes to increase of coatings quality, functional properties.
Udgivet:	2015
Serier:	Технические науки
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ испарение магнетронные системы распыление
Online adgang:	http://web.snauka.ru/issues/2015/04/51541
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643155

Lignende værker

Дуальная магнетронная распылительная система
Udgivet: ()

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
af: Николаев М. В.
Udgivet: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
af: Рогожников Д. С.
Udgivet: (2016)

Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Udgivet: (2014)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
af: Жукова М. А.
Udgivet: (2007)

Energy and substance transfer in magnetron sputtering systems with liquid-phase target
Udgivet: (2016)

Магнетронная распылительная система
Udgivet: ()

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, 2017)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Udgivet: (2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2015)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Радиально-магнетронная пушка
af: Прудковский Г. П.
Udgivet: (2004)

Технологический комплекс для формирования кальций-фосфатных покрытий ВЧ - магнетронным распылением: элементный состав и морфология полученных пленок
af: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Udgivet: (2013)

Materials science and technologies of modern advanced materials : practical course
af: Shevchenko I. M.
Udgivet: (Ставрополь, СКФУ, 2022)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2021)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Udgivet: (2019)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей
af: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Udgivet: (2008)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита
Udgivet: (2013)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС
af: Андреева М. А.
Udgivet: (2016)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
af: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Udgivet: (2014)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (Томск, 2018)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
af: Арсланов И. Р.
Udgivet: (2002)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана
af: Сунь Чжилэй
Udgivet: (2014)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
af: Целовальникова А. Е.
Udgivet: (2019)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2010)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2012)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion
Udgivet: (2016)

Features of copper coatings growth at high-rate deposition using magnetron sputtering systems with a liquid metal target
Udgivet: (2017)

Влияние структуры распыленной воды на температуру и концентрацию продуктов горения
af: Кузнецов Г. В. Гений Владимирович
Udgivet: (2013)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge
Udgivet: (2004)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Udgivet: (2008)

High-rate magnetron sputtering with hot target
Udgivet: (2016)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку
Udgivet: (2013)

The role of thermal processes and target evaporation in formation of self-sputtering mode for copper magnetron sputtering
Udgivet: (2018)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
af: Киселева Д. В.
Udgivet: (2015)

Evaporation of two liquid droplets moving sequentially through high-temperature combustion products
af: Volkov R. S. Roman Sergeevich
Udgivet: (2014)