Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) Центр технологий (ЦТ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра сильноточной электроники (СЭ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ), Surmeneva M. A. Maria Alexandrovna, Surmenev R. A. Roman Anatolievich, . . . Syrtanov M. S. Maksim Sergeevich. (2014). The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam. 2014.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) Центр технологий (ЦТ), et al. The Effect of Si Content on Structure and Mechanical Features of Silicon-containing Calcium Phosphorus-based Films Deposited by Rf-magnetron Sputtering on Titanium Substrate Treated by Pulsed Electron Beam. 2014, 2014.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) Центр технологий (ЦТ), et al. The Effect of Si Content on Structure and Mechanical Features of Silicon-containing Calcium Phosphorus-based Films Deposited by Rf-magnetron Sputtering on Titanium Substrate Treated by Pulsed Electron Beam. 2014, 2014.