Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Fedorischeva M. V. Marina, Sergeev V. P. Viktor Petrovich, Kalashnikov M. P. Mark Petrovich, & Voronov A. V. Andrei. (2014). Internal stresses and structure of multilayer coatings on the basis of Zr-Y-O/Si-Al-N. 2014. https://doi.org/10.1063/1.4898904
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет, Fedorischeva M. V. Marina, Sergeev V. P. Viktor Petrovich, Kalashnikov M. P. Mark Petrovich, and Voronov A. V. Andrei. Internal Stresses and Structure of Multilayer Coatings on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N. 2014, 2014. https://doi.org/10.1063/1.4898904.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет, et al. Internal Stresses and Structure of Multilayer Coatings on the Basis of Zr-Y-O/Si-Al-N. 2014, 2014. https://doi.org/10.1063/1.4898904.