The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

Библиографические подробности
Источник:	Advanced Materials Research: Scientific Journal Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014).— 2014.— [P. 748-752]
Главный автор:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Автор-организация:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Другие авторы:	Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Примечания:	Title screen The article reports on the aspects of reactive deposition ultra-thin TiOx films (50 nm) by means of dual magnetron system with mirror and closed magnetic field (B field) configurations. The hysteresis effect of electrical discharge characteristics and oxygen partial pressure P(O[2]) are presented. The dual magnetron with closed B field configuration has less hysteresis peculiarities and transits back to metallic deposition mode at higher O[2] flow rate (Q). The deposition rates don’t depend on B field configuration and correlate with changing of P(O[2]) and discharge voltage. The refractive spectra and energy of band gap, which are measured by UV-visible spectrophotometry and ellipsometry (lambda=632.8 nm) methods, have strong dependence on Q(O[2]). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Язык:	английский
Опубликовано:	2014
Серии:	Technologies of Electrophysical Methods of Materials Treatment
Предметы:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление реактивное распыление тонкие пленки
Online-ссылка:	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.748
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641110

Схожие документы

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
по: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Опубликовано: (2016)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Опубликовано: (2016)

Nitrogen-Doped Titanium Dioxide Thin Films Formation on the Surface of PLLA Electrospun Microfibers Scaffold by Reactive Magnetron Sputtering Method; Plasma Chemistry and Plasma Processing; Vol. 39, iss. 2
Опубликовано: (2019)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
по: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
Опубликовано: (2016)

The Application of Radio Frequency Magnetron Sputtering for Fluoropolymer Surface Modification; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
по: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Опубликовано: (2014)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Опубликовано: (2013)

Deposition of a Thin-Film CGO Electrolyte for Solid Oxide Fuel Cells; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
Опубликовано: (2016)

The Influence of Radio Frequency Magnetron Sputtering on Biodegradable Polymers Surface Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
по: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Опубликовано: (2014)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Опубликовано: (2016)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
по: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Опубликовано: (2018)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering; Colloids and Surfaces B: Biointerfaces; Vol. 162
Опубликовано: (2018)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
по: Зелецов Д.
Опубликовано: (2019)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Опубликовано: (2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2012)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering; Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics; Vol. 82, iss. 9
по: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Опубликовано: (2018)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Опубликовано: (2017)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
Опубликовано: (2020)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Опубликовано: (2015)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Опубликовано: (2016)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2009)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Опубликовано: (2014)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Опубликовано: (2013)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering; Chalcogenide Letters; Vol. 12, iss. 9
по: An V. V. Vladimir Vilorievich
Опубликовано: (2015)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2015)

Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 5
Опубликовано: (2017)

Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Опубликовано: (2015)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Опубликовано: (2014)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
по: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Опубликовано: (2016)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering; Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications
по: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Опубликовано: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2016)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
Опубликовано: (2012)

Thin hydroxyapatite coating on AZ91D magnesium alloy fabricated via RF-magnetron sputtering; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
по: Melnikov E. S. Evgenii Sergeevich
Опубликовано: (2015)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубликовано: (Томск, 2016)

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
по: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Опубликовано: (2016)

Effects of sputtering gas on the microstructure of Ir thin films deposited by HiPIMS and pulsed DC sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 412
по: Zenkin S. P. Sergey Petrovich
Опубликовано: (2021)

Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Bozheyev F. E.
Опубликовано: (2012)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Опубликовано: (2015)

Физико-механические характеристики гемосовместимых покрытий на основе TiO2 и Ti-O-N, полученных методом реактивного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2011)

Исследование влияния химических свойств биопокрытий коронарных стентов на кислотно-щелочной баланс; Биотехнология: состояние и перспективы развития; Т. 1
по: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Опубликовано: (2017)