The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Advanced Materials Research: Scientific Journal Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014).— 2014.— [P. 748-752]
Autor principal:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Outros Autores:	Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Resumo:	Title screen The article reports on the aspects of reactive deposition ultra-thin TiOx films (50 nm) by means of dual magnetron system with mirror and closed magnetic field (B field) configurations. The hysteresis effect of electrical discharge characteristics and oxygen partial pressure P(O[2]) are presented. The dual magnetron with closed B field configuration has less hysteresis peculiarities and transits back to metallic deposition mode at higher O[2] flow rate (Q). The deposition rates don’t depend on B field configuration and correlate with changing of P(O[2]) and discharge voltage. The refractive spectra and energy of band gap, which are measured by UV-visible spectrophotometry and ellipsometry (lambda=632.8 nm) methods, have strong dependence on Q(O[2]). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:	inglês
Publicado em:	2014
Colecção:	Technologies of Electrophysical Methods of Materials Treatment
Assuntos:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление реактивное распыление тонкие пленки
Acesso em linha:	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.748
Formato:	Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641110

Registos relacionados

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Por: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Publicado em: (2016)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Publicado em: (2016)

Nitrogen-Doped Titanium Dioxide Thin Films Formation on the Surface of PLLA Electrospun Microfibers Scaffold by Reactive Magnetron Sputtering Method; Plasma Chemistry and Plasma Processing; Vol. 39, iss. 2
Publicado em: (2019)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Por: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
Publicado em: (2016)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Publicado em: (2013)

The Application of Radio Frequency Magnetron Sputtering for Fluoropolymer Surface Modification; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
Por: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Publicado em: (2014)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Publicado em: (2016)

Deposition of a Thin-Film CGO Electrolyte for Solid Oxide Fuel Cells; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
Publicado em: (2016)

The Influence of Radio Frequency Magnetron Sputtering on Biodegradable Polymers Surface Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
Por: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Publicado em: (2014)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
Por: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Publicado em: (2018)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering; Colloids and Surfaces B: Biointerfaces; Vol. 162
Publicado em: (2018)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publicado em: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
Por: Зелецов Д.
Publicado em: (2019)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2012)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering; Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics; Vol. 82, iss. 9
Por: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Publicado em: (2018)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Publicado em: (2017)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
Publicado em: (2020)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2009)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Publicado em: (2015)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Publicado em: (2016)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Publicado em: (2014)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Por: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicado em: (2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Publicado em: (2013)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
Por: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicado em: (2015)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering; Chalcogenide Letters; Vol. 12, iss. 9
Por: An V. V. Vladimir Vilorievich
Publicado em: (2015)

Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 5
Publicado em: (2017)

Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Publicado em: (2015)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Publicado em: (2014)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
Por: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Publicado em: (2016)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering; Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications
Por: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Publicado em: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Thin hydroxyapatite coating on AZ91D magnesium alloy fabricated via RF-magnetron sputtering; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Por: Melnikov E. S. Evgenii Sergeevich
Publicado em: (2015)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, 2016)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
Publicado em: (2012)

Effects of sputtering gas on the microstructure of Ir thin films deposited by HiPIMS and pulsed DC sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 412
Por: Zenkin S. P. Sergey Petrovich
Publicado em: (2021)

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
Por: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publicado em: (2016)

Исследование структуры и механических свойств покрытий на основе Zr-Y-O при импульсном магнетронном осаждении на подложках оптического стекла К208; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Publicado em: (2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
Por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado em: (2021)

Структурные характеристики оксидных и оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и оценка их гемосовместимых свойств in vitro; Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине
Publicado em: (2016)

Исследование влияния химических свойств биопокрытий коронарных стентов на кислотно-щелочной баланс; Биотехнология: состояние и перспективы развития; Т. 1
Por: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicado em: (2017)