The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Advanced Materials Research: Scientific Journal Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014).— 2014.— [P. 748-752]
1. Verfasser:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Weitere Verfasser:	Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Zusammenfassung:	Title screen The article reports on the aspects of reactive deposition ultra-thin TiOx films (50 nm) by means of dual magnetron system with mirror and closed magnetic field (B field) configurations. The hysteresis effect of electrical discharge characteristics and oxygen partial pressure P(O[2]) are presented. The dual magnetron with closed B field configuration has less hysteresis peculiarities and transits back to metallic deposition mode at higher O[2] flow rate (Q). The deposition rates don’t depend on B field configuration and correlate with changing of P(O[2]) and discharge voltage. The refractive spectra and energy of band gap, which are measured by UV-visible spectrophotometry and ellipsometry (lambda=632.8 nm) methods, have strong dependence on Q(O[2]). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2014
Schriftenreihe:	Technologies of Electrophysical Methods of Materials Treatment
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление реактивное распыление тонкие пленки
Online-Zugang:	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.748
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641110

Ähnliche Einträge

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
von: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Veröffentlicht: (2016)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Veröffentlicht: (2016)

Nitrogen-Doped Titanium Dioxide Thin Films Formation on the Surface of PLLA Electrospun Microfibers Scaffold by Reactive Magnetron Sputtering Method; Plasma Chemistry and Plasma Processing; Vol. 39, iss. 2
Veröffentlicht: (2019)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
von: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
Veröffentlicht: (2016)

The Application of Radio Frequency Magnetron Sputtering for Fluoropolymer Surface Modification; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
von: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Veröffentlicht: (2014)

Deposition of a Thin-Film CGO Electrolyte for Solid Oxide Fuel Cells; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
Veröffentlicht: (2016)

The Influence of Radio Frequency Magnetron Sputtering on Biodegradable Polymers Surface Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
von: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Veröffentlicht: (2014)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Veröffentlicht: (2016)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Veröffentlicht: (2013)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering; Colloids and Surfaces B: Biointerfaces; Vol. 162
Veröffentlicht: (2018)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Veröffentlicht: (2017)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Veröffentlicht: (2012)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
von: Зелецов Д.
Veröffentlicht: (2019)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Veröffentlicht: (2014)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
von: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Veröffentlicht: (2018)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering; Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics; Vol. 82, iss. 9
von: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Veröffentlicht: (2018)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Veröffentlicht: (2015)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
Veröffentlicht: (2020)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Veröffentlicht: (2014)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
von: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Veröffentlicht: (2009)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Veröffentlicht: (2016)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering; Chalcogenide Letters; Vol. 12, iss. 9
von: An V. V. Vladimir Vilorievich
Veröffentlicht: (2015)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
von: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Veröffentlicht: (2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Veröffentlicht: (2013)

Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Veröffentlicht: (2015)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
von: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Veröffentlicht: (2015)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Veröffentlicht: (2014)

Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 5
Veröffentlicht: (2017)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
von: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Veröffentlicht: (2016)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering; Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications
von: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Veröffentlicht: (2016)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
Veröffentlicht: (2012)

Thin hydroxyapatite coating on AZ91D magnesium alloy fabricated via RF-magnetron sputtering; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
von: Melnikov E. S. Evgenii Sergeevich
Veröffentlicht: (2015)

Effects of sputtering gas on the microstructure of Ir thin films deposited by HiPIMS and pulsed DC sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 412
von: Zenkin S. P. Sergey Petrovich
Veröffentlicht: (2021)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
von: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2016)

In-vitro dissolution and structural and electrokinetic characteristics of titanium-oxynitride coatings formed via reactive magnetron sputtering; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 10, iss. 2
Veröffentlicht: (2016)

Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Bozheyev F. E.
Veröffentlicht: (2012)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Veröffentlicht: (2015)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
von: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Veröffentlicht: (Томск, 2016)

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
von: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Veröffentlicht: (2016)

Effect of Al Addition on the Oxidation Resistance of HfC Thin Films; Coatings; Vol. 12, iss. 1
Veröffentlicht: (2022)