The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

书目详细资料
Parent link:	Advanced Materials Research: Scientific Journal Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014).— 2014.— [P. 748-752]
主要作者:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
企业作者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
其他作者:	Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
总结:	Title screen The article reports on the aspects of reactive deposition ultra-thin TiOx films (50 nm) by means of dual magnetron system with mirror and closed magnetic field (B field) configurations. The hysteresis effect of electrical discharge characteristics and oxygen partial pressure P(O[2]) are presented. The dual magnetron with closed B field configuration has less hysteresis peculiarities and transits back to metallic deposition mode at higher O[2] flow rate (Q). The deposition rates don’t depend on B field configuration and correlate with changing of P(O[2]) and discharge voltage. The refractive spectra and energy of band gap, which are measured by UV-visible spectrophotometry and ellipsometry (lambda=632.8 nm) methods, have strong dependence on Q(O[2]). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
语言:	英语
出版:	2014
丛编:	Technologies of Electrophysical Methods of Materials Treatment
主题:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление реактивное распыление тонкие пленки
在线阅读:	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.748
格式:	电子本书章节
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641110

相似书籍

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
由: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
出版: (2016)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
出版: (2016)

Nitrogen-Doped Titanium Dioxide Thin Films Formation on the Surface of PLLA Electrospun Microfibers Scaffold by Reactive Magnetron Sputtering Method; Plasma Chemistry and Plasma Processing; Vol. 39, iss. 2
出版: (2019)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
由: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
出版: (2016)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
出版: (2013)

The Application of Radio Frequency Magnetron Sputtering for Fluoropolymer Surface Modification; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
由: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
出版: (2014)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
出版: (2016)

Deposition of a Thin-Film CGO Electrolyte for Solid Oxide Fuel Cells; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
出版: (2016)

The Influence of Radio Frequency Magnetron Sputtering on Biodegradable Polymers Surface Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
由: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
出版: (2014)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
由: Boytsova E. L. Elena Lvovna
出版: (2018)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering; Colloids and Surfaces B: Biointerfaces; Vol. 162
出版: (2018)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
由: Зелецов Д.
出版: (2019)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2012)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering; Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics; Vol. 82, iss. 9
由: Boytsova E. L. Elena Lvovna
出版: (2018)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
出版: (2017)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
出版: (2020)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
由: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版: (2009)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
出版: (2015)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
出版: (2016)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
出版: (2014)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
出版: (2013)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2015)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering; Chalcogenide Letters; Vol. 12, iss. 9
由: An V. V. Vladimir Vilorievich
出版: (2015)

Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 5
出版: (2017)

Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
出版: (2015)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
出版: (2014)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
由: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
出版: (2016)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering; Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications
由: Boytsova E. L. Elena Lvovna
出版: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, [Б. и.], 2016)

Thin hydroxyapatite coating on AZ91D magnesium alloy fabricated via RF-magnetron sputtering; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
由: Melnikov E. S. Evgenii Sergeevich
出版: (2015)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
由: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
出版: (Томск, 2016)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
出版: (2012)

Effects of sputtering gas on the microstructure of Ir thin films deposited by HiPIMS and pulsed DC sputtering; Surface and Coatings Technology; Vol. 412
由: Zenkin S. P. Sergey Petrovich
出版: (2021)

The Feasibility of Usage TiN and CrN Barrier Sublayers for Improving the Adhesion of Polycrystalline Diamond Films on WC-Co Hard Alloys; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
由: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版: (2016)

Исследование структуры и механических свойств покрытий на основе Zr-Y-O при импульсном магнетронном осаждении на подложках оптического стекла К208; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
出版: (2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
由: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
出版: (2021)

Структурные характеристики оксидных и оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и оценка их гемосовместимых свойств in vitro; Новые технологии создания и применения биокерамики в восстановительной медицине
出版: (2016)

Исследование влияния химических свойств биопокрытий коронарных стентов на кислотно-щелочной баланс; Биотехнология: состояние и перспективы развития; Т. 1
由: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
出版: (2017)