The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Advanced Materials Research: Scientific Journal Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014).— 2014.— [P. 748-752]
Hovedforfatter:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Andre forfattere:	Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Summary:	Title screen The article reports on the aspects of reactive deposition ultra-thin TiOx films (50 nm) by means of dual magnetron system with mirror and closed magnetic field (B field) configurations. The hysteresis effect of electrical discharge characteristics and oxygen partial pressure P(O[2]) are presented. The dual magnetron with closed B field configuration has less hysteresis peculiarities and transits back to metallic deposition mode at higher O[2] flow rate (Q). The deposition rates don’t depend on B field configuration and correlate with changing of P(O[2]) and discharge voltage. The refractive spectra and energy of band gap, which are measured by UV-visible spectrophotometry and ellipsometry (lambda=632.8 nm) methods, have strong dependence on Q(O[2]). Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprog:	engelsk
Udgivet:	2014
Serier:	Technologies of Electrophysical Methods of Materials Treatment
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление реактивное распыление тонкие пленки
Online adgang:	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.748
Format:	MixedMaterials Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641110

Lignende værker

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
af: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Udgivet: (2016)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Udgivet: (2017)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Udgivet: (2016)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2009)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Udgivet: (2016)

Nitrogen-Doped Titanium Dioxide Thin Films Formation on the Surface of PLLA Electrospun Microfibers Scaffold by Reactive Magnetron Sputtering Method; Plasma Chemistry and Plasma Processing; Vol. 39, iss. 2
Udgivet: (2019)

The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
af: Leonova L. A. Liliya Aleksandrovna
Udgivet: (2016)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Udgivet: (2014)

The Application of Radio Frequency Magnetron Sputtering for Fluoropolymer Surface Modification; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
af: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Udgivet: (2014)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
Udgivet: (2016)

The Influence of Radio Frequency Magnetron Sputtering on Biodegradable Polymers Surface Properties; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
af: Malchikhina A. I. Alena Igorevna
Udgivet: (2014)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
Udgivet: (2013)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
af: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Udgivet: (2016)

Deposition of a Thin-Film CGO Electrolyte for Solid Oxide Fuel Cells; Key Engineering Materials; Vol. 685 : High Technology: Research and Applications 2015 (HTRA 2015)
Udgivet: (2016)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering; Colloids and Surfaces B: Biointerfaces; Vol. 162
Udgivet: (2018)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
Udgivet: (2012)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2012)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Udgivet: (2014)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
af: Зелецов Д.
Udgivet: (2019)

The structure of biocoats based on TiO2 doped with nitrogen study; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 347 : New Materials
af: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Udgivet: (2018)

Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Bozheyev F. E.
Udgivet: (2012)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Udgivet: (2019)

Effect of Intermediate Ion Cleaning of the Titanium Target on the Structure of Bioresorbable PLLA Scaffolds under Coating Deposition by DC Reactive Magnetron Sputtering; Inorganic Materials: Applied Research; Vol. 11, iss. 3
Udgivet: (2020)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2016)

Novel entropy-stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering; Современные материалы и технологии новых поколений
Udgivet: (2019)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering; Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics; Vol. 82, iss. 9
af: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Udgivet: (2018)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Udgivet: (2015)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Шаронова А. А. Анна Александровна
Udgivet: (2013)

Antibacterial AgNPs/CaP biocomposites; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Udgivet: (2014)

The use of magnetron sputtering for the deposition of thin titanium coatings on the surface of bioresorbable electrospun fibrous scaffolds for vascular tissue engineering: A pilot study; Applied Surface Science; Vol. 398
Udgivet: (2017)

Novel entropy–stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering; 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects; 3rd International Conference on New Materials and High Technologies (3rd NMHT), November 2018
Udgivet: (2018)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Udgivet: (2014)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Udgivet: (2013)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2016)

Targets of deuterides TiD2, ZrD2, NbD, and CrD2 with different structures used in experiments on the study of pd and dd reactions at astrophysical energies; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 810
Udgivet: (2016)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2015)

Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon; Russian Physics Journal; Vol. 60, iss. 5
Udgivet: (2017)

Optical and AFM studies on p-SNS thin films deposited by magnetron sputtering; Chalcogenide Letters; Vol. 12, iss. 9
af: An V. V. Vladimir Vilorievich
Udgivet: (2015)

Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Udgivet: (2015)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Udgivet: (2010)