Национальный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Zaitsev D. A. Danila Aleksandrovich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Tupikova O. S. Olga Sergeevna. (2014). Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties. 2014. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.721
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий, Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich, Zaitsev D. A. Danila Aleksandrovich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, and Tupikova O. S. Olga Sergeevna. Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties. 2014, 2014. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.721.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Физико-технический институт Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий, et al. Effect of Magnetic Field Configuration of Dual Magnetron on Carbon Based Films Properties. 2014, 2014. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1040.721.