Способ контроля толщины покрытий

Bibliographic Details
Main Author:	Сорокин В. Б. Владимир Борисович
Corporate Author:	Томский политехнический институт (ТПИ) Научно-исследовательский институт электронной интроскопии
Summary:	опубл. 30.11.89 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения толщины покрытий с помощью электронных пучков.
Language:	Russian
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ изобретения авторские свидетельства толщина измерительная техника электронные пучки покрытия
Online Access:	http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPAT&rn=4647&DocNumber=1525452&TypeFile=html
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640817

Description
Summary:	опубл. 30.11.89 Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения толщины покрытий с помощью электронных пучков.

Similar Items