Unfiltered Aluminium Vacuum Arc Plasma Application for High-Frequency Short-Pulse Plasma Immersion Ion Implantation

Bibliographic Details
Parent link:Advanced Materials Research : Advanced materials, synthesis, development and application: Scientific Journal
Vol. 880 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2013).— 2014.— [P. 155-160]
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
Other Authors: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Bolbasov E. N. Evgeny Nikolaevich, Daneykina (Daneikina) N. V. Natalia Viktorovna
Summary:Title screen
This paper is devoted to the studying of the dynamical changes in the density of aluminium microparticles (MPs) on the substrate surface made of stainless steel, immersed in vacuum arc plasma, at high-frequency short-pulse negative bias potential. It is shown experimentally that the density of aluminium MPs on the substrate surface is decreased dynamically by 3 orders when the treatment time is increased from 15 s to 3 min at the bias potential –2 kV. A possibility of the application of MPs unfiltered vacuum arc plasma for high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation to form the intermetallic layers is discussed.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:English
Published: 2014
Series:Diagnostics and Engineering of Novel Materials
Subjects:
Online Access:http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.880.155
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640695

MARC

LEADER 00000nla2a2200000 4500
001 640695
005 20250924123829.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\5267 
035 |a RU\TPU\network\5264 
090 |a 640695 
100 |a 20150423a2014 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
105 |a y z 100zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Unfiltered Aluminium Vacuum Arc Plasma Application for High-Frequency Short-Pulse Plasma Immersion Ion Implantation  |f A. I. Ryabchikov [et al.] 
203 |a Text  |c electronic 
225 1 |a Diagnostics and Engineering of Novel Materials 
300 |a Title screen 
330 |a This paper is devoted to the studying of the dynamical changes in the density of aluminium microparticles (MPs) on the substrate surface made of stainless steel, immersed in vacuum arc plasma, at high-frequency short-pulse negative bias potential. It is shown experimentally that the density of aluminium MPs on the substrate surface is decreased dynamically by 3 orders when the treatment time is increased from 15 s to 3 min at the bias potential –2 kV. A possibility of the application of MPs unfiltered vacuum arc plasma for high-frequency short-pulse plasma immersion ion implantation to form the intermetallic layers is discussed. 
333 |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса 
461 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\network\4598  |t Advanced Materials Research : Advanced materials, synthesis, development and application  |o Scientific Journal 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\network\4601  |t Vol. 880 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2013)  |o The Xth International Conference, April 23-26, 2013, Tomsk, Russia  |o [proceedings]  |v [P. 155-160]  |d 2014 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a микрочастицы 
610 1 |a плазма 
610 1 |a короткие импульсы 
610 1 |a ионная имплантация 
701 1 |a Ryabchikov  |b A. I.  |c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences  |c physicist  |f 1950-  |g Aleksandr Ilyich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30912 
701 1 |a Sivin  |b D. O.  |c physicist  |c Senior researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences  |f 1978-  |g Denis Olegovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34240 
701 1 |a Bumagina  |b A. I.  |c physicist  |c Associate Scientist of Tomsk Polytechnic University  |f 1987-  |g Anna Ivanovna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34326  |9 17835 
701 1 |a Bolbasov  |b E. N.  |c physicist  |c Senior Researcher at Tomsk Polytechnic University, Candidate of Technical Sciences  |f 1981-  |g Evgeny Nikolaevich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30857  |9 15103 
701 1 |a Daneykina (Daneikina)  |b N. V.  |c linguist  |c Senior Lecturer of Tomsk Polytechnic University  |f 1977-  |g Natalia Viktorovna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32624 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Лаборатория № 22  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19225 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19361 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18736 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20161228  |g RCR 
856 4 |u http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.880.155 
942 |c CF