Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Umnov S. P. Sergey Pavlovich, Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich, Popova S. N., & Lemachko A. N. (2015). Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam. 2015. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.11
Dyfyniad Arddull ChicagoНациональный исследовательский Томский политехнический университет, Umnov S. P. Sergey Pavlovich, Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich, Popova S. N., and Lemachko A. N. Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited Under Assisting Argon Ion Beam. 2015, 2015. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.11.
Dyfyniad MLAНациональный исследовательский Томский политехнический университет, et al. Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited Under Assisting Argon Ion Beam. 2015, 2015. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.11.