Магнетронное осаждение Al-покрытий с повышенной отражательной способностью в УФ-области; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2

Магнетронное осаждение Al-покрытий с повышенной отражательной способностью в УФ-области; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2

Detalles Bibliográficos
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 55, № 11-2.— 2012.— [С. 217-222]
Autor Principal: Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
Outros autores: Умнов С. П. Сергей Павлович
Summary:Заглавие с экрана
Исследовались оптические свойства алюминиевых покрытий, осажденных по оригинальной методике. Нанесение плёнок осуществлялось с помощью планарного магнетрона с катодом из алюминия. В ряде экспериментов использовался источник ионов Ar холловского типа. Фотометрические исследования показали, что образцы с пленочными покрытиями алюминия имеют повышенный коэффициент отражения в ультрафиолетовой области по сравнению с образцами, осаждение на которые осуществлялось традиционным методом. Показано, что микронапряжения, возникающие в кристаллической структуре покрытия, влияют на оптические характеристики осаждаемого покрытия.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:ruso
Publicado: 2012
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
Acceso en liña:http://elibrary.ru/item.asp?id=18639664
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638768

Títulos similares

Títulos similares