Магнетронное осаждение Al-покрытий с повышенной отражательной способностью в УФ-области; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11-2.— 2012.— [С. 217-222] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Исследовались оптические свойства алюминиевых покрытий, осажденных по оригинальной методике. Нанесение плёнок осуществлялось с помощью планарного магнетрона с катодом из алюминия. В ряде экспериментов использовался источник ионов Ar холловского типа. Фотометрические исследования показали, что образцы с пленочными покрытиями алюминия имеют повышенный коэффициент отражения в ультрафиолетовой области по сравнению с образцами, осаждение на которые осуществлялось традиционным методом. Показано, что микронапряжения, возникающие в кристаллической структуре покрытия, влияют на оптические характеристики осаждаемого покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2012
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18639664 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638768 |