Магнетронное осаждение Al-покрытий с повышенной отражательной способностью в УФ-области; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 11-2.— 2012.— [С. 217-222] |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Заглавие с экрана Исследовались оптические свойства алюминиевых покрытий, осажденных по оригинальной методике. Нанесение плёнок осуществлялось с помощью планарного магнетрона с катодом из алюминия. В ряде экспериментов использовался источник ионов Ar холловского типа. Фотометрические исследования показали, что образцы с пленочными покрытиями алюминия имеют повышенный коэффициент отражения в ультрафиолетовой области по сравнению с образцами, осаждение на которые осуществлялось традиционным методом. Показано, что микронапряжения, возникающие в кристаллической структуре покрытия, влияют на оптические характеристики осаждаемого покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=18639664 |
| Format: | MixedMaterials Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638768 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 638768 | ||
| 005 | 20250207114735.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\3160 | ||
| 090 | |a 638768 | ||
| 100 | |a 20150212d2012 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Магнетронное осаждение Al-покрытий с повышенной отражательной способностью в УФ-области |f О. Х. Асаинов, С. П. Умнов | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 222 (1 назв.)] | ||
| 330 | |a Исследовались оптические свойства алюминиевых покрытий, осажденных по оригинальной методике. Нанесение плёнок осуществлялось с помощью планарного магнетрона с катодом из алюминия. В ряде экспериментов использовался источник ионов Ar холловского типа. Фотометрические исследования показали, что образцы с пленочными покрытиями алюминия имеют повышенный коэффициент отражения в ультрафиолетовой области по сравнению с образцами, осаждение на которые осуществлялось традиционным методом. Показано, что микронапряжения, возникающие в кристаллической структуре покрытия, влияют на оптические характеристики осаждаемого покрытия. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 55, № 11-2 |v [С. 217-222] |d 2012 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 700 | 1 | |a Асаинов |b О. Х. |c физик |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1957- |g Олег Хайдарович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25109 | |
| 701 | 1 | |a Умнов |b С. П. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1957- |g Сергей Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33547 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20150420 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=18639664 | |
| 942 | |c CF | ||