Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11
| Parent link: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 11.— 2014.— [С. 86-92] |
|---|---|
| Συλλογικό Έργο: | , , |
| Άλλοι συγγραφείς: | , , , |
| Περίληψη: | Заглавие с экрана Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10-2 Па, 300-1200 К) на характеристики поверхностной темновой проводимости и фотопроводимости кремния. Определены оптимальные условия термической вакуумной обработки образцов, при которой достигаются свойства, наиболее устойчивые к термическим воздействиям и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик кремния. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Γλώσσα: | Ρωσικά |
| Έκδοση: |
2014
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=22403851 |
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Κεφάλαιο βιβλίου |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637902 |