Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11
| Parent link: | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.— , 1995- № 11.— 2014.— [С. 86-92] |
|---|---|
| Corporate Authors: | , , |
| Andre forfattere: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10-2 Па, 300-1200 К) на характеристики поверхностной темновой проводимости и фотопроводимости кремния. Определены оптимальные условия термической вакуумной обработки образцов, при которой достигаются свойства, наиболее устойчивые к термическим воздействиям и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик кремния. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2014
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=22403851 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637902 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 637902 | ||
| 005 | 20250124093801.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\2089 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\1887 | ||
| 090 | |a 637902 | ||
| 100 | |a 20141112d2014 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния |f А. В. Кабышев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 330 | |a Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10-2 Па, 300-1200 К) на характеристики поверхностной темновой проводимости и фотопроводимости кремния. Определены оптимальные условия термической вакуумной обработки образцов, при которой достигаются свойства, наиболее устойчивые к термическим воздействиям и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик кремния. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования |d 1995- | ||
| 463 | |t № 11 |v [С. 86-92] |d 2014 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 701 | 1 | |a Кабышев |b А. В. |c специалист в области электроэнергетики |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1958- |g Александр Васильевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27068 | |
| 701 | 1 | |a Конусов |b Ф. В. |c физик |c ведущий инженер Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1958- |g Федор Валерьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30120 |9 14526 | |
| 701 | 1 | |a Ремнев |b Г. Е. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Геннадий Ефимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 | |
| 701 | 1 | |a Павлов |b С. К. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1990- |g Сергей Константинович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32608 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Лаборатория № 1 |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19035 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Энергетический институт (ЭНИН) |b Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18676 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160420 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=22403851 |
| 942 | |c CF | ||