Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ), Кабышев А. В. Александр Васильевич, Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович, & Павлов С. К. Сергей Константинович. (2014). Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11. 2014.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Энергетический институт (ЭНИН) Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ), Кабышев А. В. Александр Васильевич, Конусов Ф. В. Федор Валерьевич, Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович, and Павлов С. К. Сергей Константинович. Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11. 2014, 2014.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, et al. Влияние высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов на свойства поликристаллического кремния; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 11. 2014, 2014.