Modeling of initial stage of ion implantation process. Isothermal approximation; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 5-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 55, № 5-2.— 2012.— [С. 108-111] |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Institution som forfatter: | |
| Andre forfattere: | , |
| Summary: | Title screen The initial stage of the process of ion implantation in the isothermal approximation is investigated. As a result, the examples of concentration distribution were obtained at different moments, taking into account the effect of mechanical disturbance and coupling effect. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprog: | engelsk |
| Udgivet: |
2012
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=20133321 |
| Format: | MixedMaterials Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637623 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 637623 | ||
| 005 | 20250121135018.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\1775 | ||
| 090 | |a 637623 | ||
| 100 | |a 20141002d2012 k||y0rusy50 ba | ||
| 101 | 0 | |a eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Modeling of initial stage of ion implantation process. Isothermal approximation |d Модель диффузии примеси в структурно-неоднородной деформируемой среде |f E. S. Ilina, A. G. Knyazeva, V. N. Demidov | |
| 203 | |a Text |c electronic | ||
| 300 | |a Title screen | ||
| 330 | |a The initial stage of the process of ion implantation in the isothermal approximation is investigated. As a result, the examples of concentration distribution were obtained at different moments, taking into account the effect of mechanical disturbance and coupling effect. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 55, № 5-2 |v [С. 108-111] |d 2012 | ||
| 510 | 1 | |a Mодель диффузии примеси в структурно-неоднородной деформируемой среде |z rus | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 700 | 1 | |a Ilina |b E. S. |c engineer Tomsk Polytechnic University |f 1989- |g Elena Sergeevna |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32758 | |
| 701 | 1 | |a Knyazeva |b A. G. |c Russian physicist |c Professor of Tomsk Polytechnic University, doctor of physico-mathematical Sciences |f 1962- |g Anna Georgievna |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32712 | |
| 701 | 1 | |a Demidov |b V. N. |c physicist |c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of Physical and Mathematical Sciences |f 1952- |g Valery Nikolaevich |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32728 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18687 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160202 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=20133321 | |
| 942 | |c CF | ||