Электроперенос пленок арсенида галлия, синтезированных на поликоре ионной абляцией
| Parent link: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 10-й Международной конференции, 24-27 сентября 2013 г., г. Минск/ Белорусский государственный университет (БГУ). [С. 193-195].— , 2013 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Authors: | , |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с титульного листа Исследованы энергетические характеристики и механизмы темновой и фотопроводимости пленок арсенида галлия, полученных осаждением на подложку поликристаллического корунда (поликора) из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком. Установлено влияние условий осаждения, типа мишени и отжига в вакууме при остаточном давлении Р=10-2 Па и температуре Тотж=300-1200 К на электрические и фотоэлектрические характеристики пленок. Определены вклады в температурные зависимости темновой и фотопроводимости синтезированных пленок активационной и прыжковой компонент. Тип доминирующих носителей заряда и соотношение между вкладами в проводимость активационной и прыжковой составляющих меняется при вариации условий осаждения и последующей за осаждением термообработки. Выделяется три стадии отжига Тотж=300-600, 600-800 и 800-1200 К с характерными особенностями изменения параметров и механизма электропереноса. При отжиге 300-600 К изменение энергетических характеристик проводимости обусловлено перераспределением заселенности между мелкими и более глубокими локализованными состояниями дефектов, распределенными в запрещенной зоне материала пленок. Аннигиляция нестабильных собственных дефектов и комплексов на их основе влияет на изменение соотношений между параметрами проводимости, фоточувствительности и типа проводимости при отжиге 600-800 К. Повышение устойчивости свойств пленок после термообработки и увеличение плотности состояний для прыжкового переноса при Тотж=800-1200 К обусловлено кластеризацией дефектов. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49057 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637376 |