Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал.— , 1957- Т. 56, № 6.— 2013.— [С. 3-7] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autores Corporativos: | , , |
| Otros Autores: | , |
| Sumario: | Заглавие с экрана Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10 -2 Па, 300-1200 К) на характеристики поверхностной темновой и фотопроводимости кремния. Определены оптимальные условия термовакуумной обработки, при которой достигаются изменения свойств, наиболее устойчивые к термическому и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик материала. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Publicado: |
2013
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://elibrary.ru/item.asp?id=19431107& |
| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637366 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 637366 | ||
| 005 | 20250418104643.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\1483 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\1480 | ||
| 090 | |a 637366 | ||
| 100 | |a 20140903d2013 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов |f А. В. Кабышев, Ф. В. Конусов, Г. Е. Ремнев | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 330 | |a Исследованы электрические и фотоэлектрические свойства поликристаллического кремния после высокоинтенсивной короткоимпульсной имплантации ионов углерода. Установлено влияние отжига в вакууме (10 -2 Па, 300-1200 К) на характеристики поверхностной темновой и фотопроводимости кремния. Определены оптимальные условия термовакуумной обработки, при которой достигаются изменения свойств, наиболее устойчивые к термическому и полевому возбуждению. Установлены вероятные причины изменения электрических и фотоэлектрических характеристик материала. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 56, № 6 |v [С. 3-7] |d 2013 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a кремний | |
| 610 | 1 | |a фотопроводимость | |
| 610 | 1 | |a фоточувствительность | |
| 610 | 1 | |a вакуумный отжиг | |
| 610 | 1 | |a имплантация ионов | |
| 700 | 1 | |a Кабышев |b А. В. |c специалист в области электроэнергетики |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1958- |g Александр Васильевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27068 | |
| 701 | 1 | |a Конусов |b Ф. В. |c физик |c ведущий инженер Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1958- |g Федор Валерьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30120 |9 14526 | |
| 701 | 1 | |a Ремнев |b Г. Е. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Геннадий Ефимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Энергетический институт (ЭНИН) |b Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18676 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Лаборатория № 1 |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19035 |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160202 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=19431107& | |
| 942 | |c CF | ||