Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10-2

Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10-2

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 53, № 10-2.— 2010.— [С.146-149]
Other Authors: Самойленко Г. М. Геннадий Михайлович, Юшков Ю. Г. Юрий Георгиевич, Чумерин П. Ю. Павел Юрьевич, Рябчиков А. И. Александр Ильич, Степанов И. Б. Игорь Борисович, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Summary:Заглавие с экрана
В работе излагаются результаты предварительных исследований физико-механических и импедансных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных способом вакуумно-дугового испарения в условиях короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения. Описываются техника и режимы напыления, методика измерений физико-механических свойств и поверхностного импеданса пленок в диапазоне частот 1,5-9,4 ГГц. Получены медные покрытия толщиной 2-5 мкм на кварце, стекле и фторопласте с поверхностным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, близким к поверхностному сопротивлению массива меди
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2010
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
резистивные характеристики
импеданс
мишени
пленки
медные покрытия
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=16451500
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=636575

Similar Items

Similar Items