Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 53, № 10-2.— 2010.— [С.146-149] |
|---|---|
| Altres autors: | , , , , , |
| Sumari: | Заглавие с экрана В работе излагаются результаты предварительных исследований физико-механических и импедансных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных способом вакуумно-дугового испарения в условиях короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения. Описываются техника и режимы напыления, методика измерений физико-механических свойств и поверхностного импеданса пленок в диапазоне частот 1,5-9,4 ГГц. Получены медные покрытия толщиной 2-5 мкм на кварце, стекле и фторопласте с поверхностным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, близким к поверхностному сопротивлению массива меди Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2010
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://elibrary.ru/item.asp?id=16451500 |
| Format: | xMaterials Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=636575 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 636575 | ||
| 005 | 20250331100417.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\605 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\603 | ||
| 090 | |a 636575 | ||
| 100 | |a 20140217d2010 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения |f Г. М. Самойленко [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 149 (5 назв.)] | ||
| 330 | |a В работе излагаются результаты предварительных исследований физико-механических и импедансных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных способом вакуумно-дугового испарения в условиях короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения. Описываются техника и режимы напыления, методика измерений физико-механических свойств и поверхностного импеданса пленок в диапазоне частот 1,5-9,4 ГГц. Получены медные покрытия толщиной 2-5 мкм на кварце, стекле и фторопласте с поверхностным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, близким к поверхностному сопротивлению массива меди | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 53, № 10-2 |v [С.146-149] |d 2010 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a резистивные характеристики | |
| 610 | 1 | |a импеданс | |
| 610 | 1 | |a мишени | |
| 610 | 1 | |a пленки | |
| 610 | 1 | |a медные покрытия | |
| 701 | 1 | |a Самойленко |b Г. М. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1945- |g Геннадий Михайлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31785 | |
| 701 | 1 | |a Юшков |b Ю. Г. |c электрофизик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1937- |g Юрий Георгиевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22023 | |
| 701 | 1 | |a Чумерин |b П. Ю. |c специалист в области криогенной техники, доктор физико-математических наук |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1958- |g Павел Юрьевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29832 | |
| 701 | 1 | |a Рябчиков |b А. И. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1950- |g Александр Ильич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006 | |
| 701 | 1 | |a Степанов |b И. Б. |c физик |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1968- |g Игорь Борисович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26466 |9 12169 | |
| 701 | 1 | |a Шулепов |b И. А. |c физик |c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1954- |g Иван Анисимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28219 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20150421 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=16451500 | |
| 942 | |c CF | ||