Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 10-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 53, № 10-2.— 2010.— [С.146-149] |
|---|---|
| Beste egile batzuk: | , , , , , |
| Gaia: | Заглавие с экрана В работе излагаются результаты предварительных исследований физико-механических и импедансных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных способом вакуумно-дугового испарения в условиях короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения. Описываются техника и режимы напыления, методика измерений физико-механических свойств и поверхностного импеданса пленок в диапазоне частот 1,5-9,4 ГГц. Получены медные покрытия толщиной 2-5 мкм на кварце, стекле и фторопласте с поверхностным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, близким к поверхностному сопротивлению массива меди Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Hizkuntza: | errusiera |
| Argitaratua: |
2010
|
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | http://elibrary.ru/item.asp?id=16451500 |
| Formatua: | Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=636575 |
| Gaia: | Заглавие с экрана В работе излагаются результаты предварительных исследований физико-механических и импедансных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных способом вакуумно-дугового испарения в условиях короткоимпульсного высокочастотного потенциала смещения. Описываются техника и режимы напыления, методика измерений физико-механических свойств и поверхностного импеданса пленок в диапазоне частот 1,5-9,4 ГГц. Получены медные покрытия толщиной 2-5 мкм на кварце, стекле и фторопласте с поверхностным сопротивлением в СВЧ-диапазоне, близким к поверхностному сопротивлению массива меди Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|