|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
63605 |
| 005 |
20231101212057.0 |
| 010 |
|
|
|a 5230091975
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\67500
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\67499
|
| 090 |
|
|
|a 63605
|
| 100 |
|
|
|a 20040518d1994 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физическая электроника и интегральная технология
|e Сборник научных трудов
|f Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
|
| 210 |
|
|
|a СПб.
|c Изд-во СПбГЭТУ
|d 1994
|
| 215 |
|
|
|a 73 с.
|
| 225 |
1 |
|
|a Известия СПбГЭТУ
|v Вып. 474
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a известия
|
| 610 |
1 |
|
|a СВЧ
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a эмиссия
|
| 675 |
|
|
|a 621.38
|v 3
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\2242
|9 23663
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040518
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
