Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2022 Т. 1 : Физика.— 2022.— [С. 50-52]
Autore principale:	Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Altri autori:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (727)
Riassunto:	Заглавие с экрана This article describes the possibility of film deposition of copper oxide using magnetron sputtering in Ar+O2 operating in a metallic mode. To do this, hysteresis of discharge voltage was obtained at constant (20 sccm) Ar and variable (100 sccm) O2 gas flows, with and without using additional radio-frequency plasma source RPG-128. Then, CuOx films were obtained in metallic modes of magnetron sputtering of copper target at a discharge power of 1000 and 2000 W. These films were investigated by X-ray diffraction to determine its crystal structure.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2022
Soggetti:	электронный ресурс труды учёных ТПУ осаждение пленки оксид меди магнетронное распыление оксиды металлов металлические режимы
Accesso online:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72900
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634674

Documenti analoghi

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (2019)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
di: Сунь Чжилэй
Pubblicazione: (2020)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
di: Петрова Ю. С.
Pubblicazione: (2009)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
di: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Pubblicazione: (2016)

Оптические свойства пленок ITO
di: Петрюк А. Е.
Pubblicazione: (2018)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
di: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Pubblicazione: (2009)

Исследование полупроводниковых пленок CU2S методами атомно-силовой микроскопии
di: Дронова М. В.
Pubblicazione: (2014)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Pubblicazione: (2013)

Исследование ультрадисперсного оксида меди, полученного плазмодинамическим методом
di: Циммерман А. И. Александр Игоревич
Pubblicazione: ()

Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы
di: Ажгихин М. И.
Pubblicazione: (2015)

Синтез нанодисперсного оксида меди в гиперскоростной струе плазмы
di: Циммерман А. И. Александр Игоревич
Pubblicazione: (2015)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2020)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2009)

Реактивное осаждение пленок Al(2)O(3) с помощью дуальной МРС
di: Азина М. А.
Pubblicazione: (2011)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Pubblicazione: (2016)

Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2022)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate
Pubblicazione: (2016)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering
Pubblicazione: (2015)

Radiation-induced deposition of transparent conductive tin oxide coatings
di: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Pubblicazione: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора
Pubblicazione: (2025)

Осаждение антифрикционных покрытий в плазме магнетронного разряда
Pubblicazione: (2016)

Осаждение прозрачных электропроводящих покрытий на основе оксида олова
di: Теменков В. С.
Pubblicazione: (2016)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
di: Шаронова А. А. Анна Александровна
Pubblicazione: (2013)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings
Pubblicazione: (2019)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition
di: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Pubblicazione: (2016)

Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2020)

Роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении в формировании функциональных свойств хромовых покрытий
di: Алкенова К. А.
Pubblicazione: (2022)

Плазмодинамический синтез ультрадисперсных оксидов меди в атмосферных условиях
Pubblicazione: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
di: Рогожников Д. С.
Pubblicazione: (2016)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2010)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС
di: Андреева М. А.
Pubblicazione: (2016)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
di: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Pubblicazione: (Томск, 2018)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
di: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Pubblicazione: (2022)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе
di: Цао Янь
Pubblicazione: (2007)

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂
Pubblicazione: (2013)

Solid oxide fuel cell anode surface modification by magnetron sputtering of NiO/YSZ thin film
Pubblicazione: (2017)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
di: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
di: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2018)