Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W; Инновационные технологии в машиностроении

গ্রন্থ-পঞ্জীর বিবরন
Parent link:	Инновационные технологии в машиностроении.— 2022.— [С. 29-31]
প্রধান লেখক:	Просолов К. А.
সংস্থা লেখক:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
অন্যান্য লেখক:	Сулиз К. В., Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович
সংক্ষিপ্ত:	Заглавие с титульного экрана Формирование износостойких покрытий методами вакуумного напыления остается актуальной задачей в области материаловедения. Покрытия на основе тугоплавких соединений переходных металлов представляются перспективными для применения в качестве не только износостойких, но и коррозионностойких, а также антибактериальных материалов. В работе отражены технологические подходы к формированию мишени для ВЧ магнетронного распыления путем консолидации порошков металлов на основе системы Cu-W, полученных совместным электрическим взрывом двух проволочек. The formation of wear-resistant coatings by vacuum spraying methods remains an urgent task in the field of materials science. Coatings based on refractory compounds of transition metals are promising for use as not only wear-resistant, but also corrosion-resistant, as well as antibacterial materials. The paper reflects technological approaches to the formation of a target for RF magnetron sputtering by consolidating metal powders based on the Cu-W system obtained by a joint electric explosion of two wires.
ভাষা:	রুশ
প্রকাশিত:	2022
মালা:	Технологии получения и обработки материалов в машиностроении
বিষয়গুলি:	труды учёных ТПУ электронный ресурс биметаллические материалы несмешивающиеся металлы износостойкие покрытия ВЧ-магнетронное распыление bimetallic particles immiscible metals wear-resistant coatings RF magnetron sputtering
অনলাইন ব্যবহার করুন:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72746
বিন্যাস:	বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায়
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634634