Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W; Инновационные технологии в машиностроении
| Parent link: | Инновационные технологии в машиностроении.— 2022.— [С. 29-31] |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | |
| সংস্থা লেখক: | |
| অন্যান্য লেখক: | , |
| সংক্ষিপ্ত: | Заглавие с титульного экрана Формирование износостойких покрытий методами вакуумного напыления остается актуальной задачей в области материаловедения. Покрытия на основе тугоплавких соединений переходных металлов представляются перспективными для применения в качестве не только износостойких, но и коррозионностойких, а также антибактериальных материалов. В работе отражены технологические подходы к формированию мишени для ВЧ магнетронного распыления путем консолидации порошков металлов на основе системы Cu-W, полученных совместным электрическим взрывом двух проволочек. The formation of wear-resistant coatings by vacuum spraying methods remains an urgent task in the field of materials science. Coatings based on refractory compounds of transition metals are promising for use as not only wear-resistant, but also corrosion-resistant, as well as antibacterial materials. The paper reflects technological approaches to the formation of a target for RF magnetron sputtering by consolidating metal powders based on the Cu-W system obtained by a joint electric explosion of two wires. |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
2022
|
| মালা: | Технологии получения и обработки материалов в машиностроении |
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72746 |
| বিন্যাস: | বৈদ্যুতিক গ্রন্থের অধ্যায় |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=634634 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 634634 | ||
| 005 | 20231228133848.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\36452 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\36448 | ||
| 090 | |a 634634 | ||
| 100 | |a 20220729d2022 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 101zy | ||
| 135 | |a drgn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W |f К. А. Просолов, К. В. Сулиз, Ю. П. Шаркеев | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 225 | 1 | |a Технологии получения и обработки материалов в машиностроении | |
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 31 (7 назв.)] | ||
| 330 | |a Формирование износостойких покрытий методами вакуумного напыления остается актуальной задачей в области материаловедения. Покрытия на основе тугоплавких соединений переходных металлов представляются перспективными для применения в качестве не только износостойких, но и коррозионностойких, а также антибактериальных материалов. В работе отражены технологические подходы к формированию мишени для ВЧ магнетронного распыления путем консолидации порошков металлов на основе системы Cu-W, полученных совместным электрическим взрывом двух проволочек. | ||
| 330 | |a The formation of wear-resistant coatings by vacuum spraying methods remains an urgent task in the field of materials science. Coatings based on refractory compounds of transition metals are promising for use as not only wear-resistant, but also corrosion-resistant, as well as antibacterial materials. The paper reflects technological approaches to the formation of a target for RF magnetron sputtering by consolidating metal powders based on the Cu-W system obtained by a joint electric explosion of two wires. | ||
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\36283 |t Инновационные технологии в машиностроении |o сборник трудов XIII Международной научно-практической конференции, 26–28 мая 2022 г., Юрга |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Юргинский технологический институт (ЮТИ) ; под ред. С. А. Солодского |v [С. 29-31] |d 2022 | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a биметаллические материалы | |
| 610 | 1 | |a несмешивающиеся металлы | |
| 610 | 1 | |a износостойкие покрытия | |
| 610 | 1 | |a ВЧ-магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a bimetallic particles | |
| 610 | 1 | |a immiscible metals | |
| 610 | 1 | |a wear-resistant coatings | |
| 610 | 1 | |a RF magnetron sputtering | |
| 700 | 1 | |a Просолов |b К. А. | |
| 701 | 1 | |a Сулиз |b К. В. | |
| 701 | 1 | |a Шаркеев |b Ю. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1950- |g Юрий Петрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31437 |9 15599 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |c (2017- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20220805 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72746 | |
| 942 | |c BK | ||