APA (7th ed.) Citation

Просолов К. А., Сулиз К. В., & Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович. (2022). Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W. 2022.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Просолов К. А., Сулиз К. В., and Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович. Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W. 2022, 2022.

MLA (9th ed.) Citation

Просолов К. А., et al. Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W. 2022, 2022.