|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
633844 |
| 005 |
20240118094426.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\35594
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\35590
|
| 090 |
|
|
|a 633844
|
| 100 |
|
|
|a 20211126d2021 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Нанесение плёнок нитрида титана на легкоплавкие диэлектрические материалы
|f А. Е. Мюсова, Ю. Ю. Луценко
|g науч. рук. Ю. Ю. Луценко
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Плазменные и водородные технологи
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 76 (1 назв.)]
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\35564
|t Изотопы: технологии, материалы и применение
|o сборник тезисов докладов VII Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 25-28 октября 2021 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 76]
|d 2021
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид титана
|
| 610 |
1 |
|
|a легкоплавкие материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмотроны
|
| 700 |
|
1 |
|a Мюсова
|b А. Е.
|
| 701 |
|
1 |
|a Луценко
|b Ю. Ю.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1962-
|g Юрий Юрьевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26568
|9 12257
|
| 702 |
|
1 |
|a Луценко
|b Ю. Ю.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1962-
|g Юрий Юрьевич
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Отделение ядерно-топливного цикла
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23554
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20211207
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69044
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
