Газофазный рост монокристаллов алмаза в плазме аномального тлеющего разряда

Газофазный рост монокристаллов алмаза в плазме аномального тлеющего разряда

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 27-30 апреля 2021 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2021
Т. 1 : Физика.— 2021.— [С. 235-237]
Main Author: Митулинский А. С. Александр Сергеевич
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа новых производственных технологий Научно-производственная лаборатория "Импульсно-пучковых, электроразрядных и плазменных технологий"
Other Authors: Хоробрый А. В. Алексей Владимирович (727), Линник С. А. Степан Андреевич
Summary:Заглавие с экрана
In this work the growth of monocrystalline diamond samples was studied. Chemical vapor deposition method with plasma of an abnormal glow discharge was used for performing the growth. Monocrystalline diamond was used as a substrate. As a result of the experiment monocrystalline diamond plates were observed with thickness higher than the original substrate thickness.
Published: 2021
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
рост
монокристаллы
алмазы
плазма
тлеющие разряды
дефекты
осаждение из газовой фазы
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/68237
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=633421

Similar Items

Similar Items