Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование

Chi tiết về thư mục
Parent link:	Современные технологии, экономика и образование.— 2020.— [С. 51-52]
Tác giả chính:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Tác giả của công ty:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Tác giả khác:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
Tóm tắt:	Заглавие с титульного экрана The mechanisms leading to a noticeable increase in the rate of the surface erosion of liquid metal targets sputtered in the plasma of magnetron sputtering systems are studied. Experimental studies of the growth rate of metal coatings during the operation of magnetrons with liquid-phase targets have been carried out. The calculated results and experimental data are in good agreement, which indicates the correctness of the formulated physical concepts and the obtained regularities.
Ngôn ngữ:	Tiếng Nga
Được phát hành:	2020
Những chủ đề:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные распылительные системы высокоскоростное осаждение функциональные покрытия эрозия жидкометаллические мишени плазма металлические покрытия магнетроны
Truy cập trực tuyến:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631
Định dạng:	Điện tử Chương của sách
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632599

Những quyển sách tương tự

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
Bằng: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Được phát hành: (2014)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Được phát hành: (2018)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Được phát hành: (2020)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Được phát hành: (2019)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Bằng: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Được phát hành: (Томск, 2022)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Được phát hành: (Томск, 2017)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Bằng: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Được phát hành: (Томск, 2022)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
Bằng: Жукова М. А.
Được phát hành: (2007)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Được phát hành: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Bằng: Рогожников Д. С.
Được phát hành: (2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Được phát hành: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Được phát hành: (Томск, 2017)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
Bằng: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Được phát hành: (2012)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
Bằng: Арсланов И. Р.
Được phát hành: (2002)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Được phát hành: (Томск, 2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
Bằng: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Được phát hành: (2021)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Được phát hành: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Được phát hành: (Томск, [Б. и.], 2018)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Bằng: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Được phát hành: (2022)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings; Vacuum; Vol. 200
Được phát hành: (2022)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
Bằng: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Được phát hành: (2020)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Được phát hành: (2019)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Bằng: Шпакова Н. Ю.
Được phát hành: (2011)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Được phát hành: (Томск, 2016)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
Bằng: Мазурик Е. А.
Được phát hành: (2014)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2
Được phát hành: (2011)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Được phát hành: (Томск, 2016)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее
Được phát hành: (2021)

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Bằng: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Được phát hành: (2009)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Được phát hành: (2019)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Được phát hành: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Được phát hành: (Томск, 2018)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
Bằng: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Được phát hành: (Москва, МИСИС, 2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Được phát hành: (Томск, [Б. и.], 2016)

Изучение скорости растворения покрытий TiON в модельных биологических жидкостях; Химия и химическая технология в XXI веке
Bằng: Ефимова Е. В.
Được phát hành: (2017)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11/2
Được phát hành: (2012)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Bằng: Цяо Цзинвэнь
Được phát hành: (2017)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Được phát hành: (Томск, [Б. и.], 2016)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
Bằng: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Được phát hành: (2015)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.07
Bằng: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Được phát hành: (Томск, 2011)