Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование

Bibliographic Details
Parent link:	Современные технологии, экономика и образование.— 2020.— [С. 51-52]
Main Author:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
Summary:	Заглавие с титульного экрана The mechanisms leading to a noticeable increase in the rate of the surface erosion of liquid metal targets sputtered in the plasma of magnetron sputtering systems are studied. Experimental studies of the growth rate of metal coatings during the operation of magnetrons with liquid-phase targets have been carried out. The calculated results and experimental data are in good agreement, which indicates the correctness of the formulated physical concepts and the obtained regularities.
Language:	Russian
Published:	2020
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные распылительные системы высокоскоростное осаждение функциональные покрытия эрозия жидкометаллические мишени плазма металлические покрытия магнетроны
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632599

Similar Items

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2014)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Published: (2018)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Published: (2020)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Published: (2019)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (Томск, 2022)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2012)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
by: Арсланов И. Р.
Published: (2002)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Published: (2022)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings; Vacuum; Vol. 200
Published: (2022)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2020)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Published: (2019)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2011)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Мазурик Е. А.
Published: (2014)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 11/2
Published: (2011)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее
Published: (2021)

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Published: (2009)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2016)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Published: (2019)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
by: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)

Изучение скорости растворения покрытий TiON в модельных биологических жидкостях; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Ефимова Е. В.
Published: (2017)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11/2
Published: (2012)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2015)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Цяо Цзинвэнь
Published: (2017)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
Published: (2016)