Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Современные технологии, экономика и образование: сборник материалов II Всероссийской научно-методической конференции, г. Томск, 2-4 сентября 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; под ред. А. Г. Фефеловой, Е. А. Покровской, И. О. Болотиной [и др.]. [С. 51-52].— , 2020
Autor principal:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Otros Autores:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
Sumario:	Заглавие с титульного экрана The mechanisms leading to a noticeable increase in the rate of the surface erosion of liquid metal targets sputtered in the plasma of magnetron sputtering systems are studied. Experimental studies of the growth rate of metal coatings during the operation of magnetrons with liquid-phase targets have been carried out. The calculated results and experimental data are in good agreement, which indicates the correctness of the formulated physical concepts and the obtained regularities.
Publicado:	2020
Materias:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные распылительные системы высокоскоростное осаждение функциональные покрытия эрозия жидкометаллические мишени плазма металлические покрытия магнетроны
Acceso en línea:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=632599

Ejemplares similares

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
por: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicado: (2014)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Publicado: (2018)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Publicado: (2020)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Publicado: (2019)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (Томск, 2022)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicado: (Томск, 2017)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
por: Жукова М. А.
Publicado: (2007)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
por: Рогожников Д. С.
Publicado: (2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Publicado: (Томск, 2017)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
por: Арсланов И. Р.
Publicado: (2002)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
por: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicado: (2012)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado: (Томск, 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (2021)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2018)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
por: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Publicado: (2022)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source: Microstructure and functional properties of CrNx coatings
Publicado: (2022)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado: (2020)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
Publicado: (2019)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления
por: Шпакова Н. Ю.
Publicado: (2011)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
por: Мазурик Е. А.
Publicado: (2014)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика
Publicado: (2011)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado: (Томск, 2016)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода
Publicado: (2021)

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона
por: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Publicado: (2009)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S
Publicado: (2016)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets
Publicado: (2019)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado: (Томск, 2018)

Изучение скорости растворения покрытий TiON в модельных биологических жидкостях
por: Ефимова Е. В.
Publicado: (2017)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени
por: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicado: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2016)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления
por: Цяо Цзинвэнь
Publicado: (2017)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра
Publicado: (2012)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado: (Томск, [Б. и.], 2016)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.07
por: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Publicado: (Томск, 2011)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
por: Николаев М. В.
Publicado: (2015)