|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
632599 |
| 005 |
20240212131713.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\34320
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\34317
|
| 090 |
|
|
|a 632599
|
| 100 |
|
|
|a 20210225d2020 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
|d Analysis of the capabilities of magnetron sputtering systems for high-rate deposition of functional coatings
|f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 330 |
|
|
|a The mechanisms leading to a noticeable increase in the rate of the surface erosion of liquid metal targets sputtered in the plasma of magnetron sputtering systems are studied. Experimental studies of the growth rate of metal coatings during the operation of magnetrons with liquid-phase targets have been carried out. The calculated results and experimental data are in good agreement, which indicates the correctness of the formulated physical concepts and the obtained regularities.
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\34302
|t Современные технологии, экономика и образование
|o сборник материалов II Всероссийской научно-методической конференции, г. Томск, 2-4 сентября 2020 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет ; под ред. А. Г. Фефеловой, Е. А. Покровской, И. О. Болотиной [и др.]
|v [С. 51-52]
|d 2020
|
| 510 |
1 |
|
|a Analysis of the capabilities of magnetron sputtering systems for high-rate deposition of functional coatings
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a высокоскоростное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a эрозия
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкометаллические мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетроны
|
| 700 |
|
1 |
|a Блейхер
|b Г. А.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1961-
|g Галина Алексеевна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948
|9 13681
|
| 701 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 701 |
|
1 |
|a Юрьева
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|f 1983-
|g Алена Викторовна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210305
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64631
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
