Блейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, & Юрьева А. В. Алена Викторовна. (2020). Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование. 2020.
Chicago Style (17th ed.) CitationБлейхер Г. А. Галина Алексеевна, Кривобоков В. П. Валерий Павлович, and Юрьева А. В. Алена Викторовна. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование. 2020, 2020.
MLA (9th ed.) CitationБлейхер Г. А. Галина Алексеевна, et al. Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование. 2020, 2020.