Моделирование зависимости профилей распределения интенсивностей элементов с учетом неравномерности распыления оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2020 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2020 Т. 1 : Физика.— 2020.— [С. 118-120]
Main Author:	Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
Other Authors:	Лаптев Р. С. Роман Сергеевич (научный руководитель), Иванова А. И. Анна Ивановна, Шулепов И. А. Иван Анисимович
Summary:	Заглавие с экрана Modern technologies cannot do without materials with special characteristics; some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various fields, from optics to protective films from any influences. In addition to the technological problems associated with the deposition of a large number of layers, methodological problems also arise in profiling due to the physical and instrumental artifacts that accompany ion sputtering of ultrathin and thin multilayer coatings. These factors must be carefully monitored, but spectrometry is one of the methods for controlling the elemental composition glow discharge. The purpose of this study is the ability to adjust the distribution profiles of chemical elements after analysis using a glow discharge spectrometer GD-Profiler 2.
Language:	Russian
Published:	2020
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ моделирование профили распределение интенсивность элементы неравномерность спектрометры тлеющие разряды многослойные покрытия химический состав свечение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/62545
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=631521