|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
630898 |
| 005 |
20260210071610.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\32461
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\32460
|
| 090 |
|
|
|a 630898
|
| 100 |
|
|
|a 20200131d2019 k y0rusy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering
|f D. V. Sidelev, A. V. Obrosov, S. Weis
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\32407
|t Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
|o 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia
|o abstracts
|f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval
|v [С. 293]
|d 2019
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a многослойные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид хрома
|
| 610 |
1 |
|
|a углерод
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a слои
|
| 610 |
1 |
|
|a толщина
|
| 610 |
1 |
|
|a комбинационное рассеяние
|
| 610 |
1 |
|
|a рентгеновская дифракция
|
| 610 |
1 |
|
|a структурные свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a механические свойства
|
| 700 |
|
1 |
|a Sidelev
|b D. V.
|c physicist
|c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of Technical Sciences
|f 1991-
|g Dmitry Vladimirovich
|y Tomsk
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34524
|9 17905
|
| 701 |
|
1 |
|a Obrosov
|b A. V.
|
| 701 |
|
1 |
|a Weis
|b S.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200203
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57768
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
