Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 388-390]
Glavni avtor:	Сунь Чжилэй
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Drugi avtorji:	Конищев М. Е. Максим Евгеньевич (научный руководитель), Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Izvleček:	Заглавие с экрана In this paper we present the results of investigation of optical properties of nitrogen doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering. The influence of reactive atmosphere and post annealing on refractive index, transmittance and band gap energy has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized by maximum of deposition rate and minimum of refractive index. N-induced band gap narrowing has been observed and the minimum band gap energy was found to be 2.87 eV for annealed TiON 1.5-1 film.
Jezik:	ruščina
Izdano:	2019
Teme:	электронный ресурс труды учёных ТПУ оптические свойства пленки оксид титана магнетронное распыление легирование покрытия осаждение
Online dostop:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873
Format:	Elektronski Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629726

Podobne knjige/članki

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Сунь Чжилэй
Izdano: (2020)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Izdano: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Izdano: (2009)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Izdano: (2012)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
od: Петрова Ю. С.
Izdano: (2009)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
od: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Izdano: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2016)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Izdano: (2022)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Izdano: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2016)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
od: Петрюк А. Е.
Izdano: (2018)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Сунь Чжилэй
Izdano: (Томск, 2020)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
od: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Izdano: (Москва, Техносфера, 2014)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Сунь Чжилэй
Izdano: (Томск, 2020)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
od: Андреева М. А.
Izdano: (2016)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Izdano: (2015)

Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
od: Дронова М. В.
Izdano: (2015)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Izdano: (Томск, 2016)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
od: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Izdano: (2010)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Izdano: (2014)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
od: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Izdano: (Томск, Изд-во ТУСУР, 1997)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Izdano: (2015)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
od: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Izdano: (2016)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Izdano: (2017)

Исследование структуры покрытий, сформированных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Грубова И. Ю. Ирина Юрьевна
Izdano: (2009)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2016)

Поверхностные свойства и исследование in vitro пленок на основе оксида и оксинитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Izdano: (2013)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
od: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Izdano: (Томск, 2025)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Izdano: (2013)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Izdano: (Томск, [Б. и.], 2016)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
od: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Izdano: (2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
od: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Izdano: (Томск, 2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
od: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Izdano: (Томск, 2017)

Реактивное магнетронное напыление биосовместимых азотсодержащих покрытий из оксидов титана: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
od: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Izdano: (Томск, 2025)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Izdano: (2016)

Radiation-induced deposition of transparent conductive tin oxide coatings; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015)
od: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Izdano: (2016)

Исследование молекулярного и элементного состава покрытий, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени из кремнийзамещённого гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
od: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич
Izdano: (2009)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
od: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Izdano: (2015)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Izdano: (2019)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
od: Шаронова А. А. Анна Александровна
Izdano: (2013)