Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 388-390] |
|---|---|
| Prif Awdur: | |
| Awdur Corfforaethol: | |
| Awduron Eraill: | , |
| Crynodeb: | Заглавие с экрана In this paper we present the results of investigation of optical properties of nitrogen doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering. The influence of reactive atmosphere and post annealing on refractive index, transmittance and band gap energy has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized by maximum of deposition rate and minimum of refractive index. N-induced band gap narrowing has been observed and the minimum band gap energy was found to be 2.87 eV for annealed TiON 1.5-1 film. |
| Iaith: | Rwseg |
| Cyhoeddwyd: |
2019
|
| Pynciau: | |
| Mynediad Ar-lein: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873 |
| Fformat: | MixedMaterials Electronig Pennod Llyfr |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629726 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 629726 | ||
| 005 | 20241125140622.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\30482 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\30453 | ||
| 090 | |a 629726 | ||
| 100 | |a 20190906d2019 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 100zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением |d Optical properties of nitrogen doped titanium oxide films, deposited using magnetron sputtering |f Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев |g науч. рук. В. Ф. Пичугин | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 390 (4 назв.)] | ||
| 330 | |a In this paper we present the results of investigation of optical properties of nitrogen doped titanium oxide thin films, deposited using magnetron sputtering. The influence of reactive atmosphere and post annealing on refractive index, transmittance and band gap energy has been analyzed. Regime with N[2]/O[2] ratio of 1-1 was characterized by maximum of deposition rate and minimum of refractive index. N-induced band gap narrowing has been observed and the minimum band gap energy was found to be 2.87 eV for annealed TiON 1.5-1 film. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\30347 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2019 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\30348 |t Т. 1 : Физика |v [С. 388-390] |d 2019 | |
| 510 | 1 | |a Optical properties of nitrogen doped titanium oxide films, deposited using magnetron sputtering |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a оптические свойства | |
| 610 | 1 | |a пленки | |
| 610 | 1 | |a оксид титана | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a оптические свойства | |
| 610 | 1 | |a легирование | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a осаждение | |
| 700 | 0 | |a Сунь Чжилэй |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1992- |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46146 | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |y Томск |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 702 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944- |g Владимир Федорович |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов |c (2017- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23551 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20200218 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55873 | |
| 942 | |c BK | ||