Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 208-210]
Hovedforfatter:	Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Andre forfattere:	Лаптев Р. С. Роман Сергеевич (727)
Summary:	Заглавие с экрана Modern technologies cannot do without materials with special characteristics, some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various areas ranging from optics to protective films from any effects. The characteristics of these films mainly depend on two factors of composition and structure. These factors must be carefully controlled, but one method of controlling the elemental composition is glow discharge spectrometry. This study aims to study the sputtering modes for a pulsed radio frequency source of a glow discharge spectrometer DG-Profiler 2.
Udgivet:	2019
Fag:	электронный ресурс труды учёных ТПУ режимы работы спектрометры тлеющие разряды тонкие пленки спектрометрия нанокомпозитные покрытия импульсные источники радиочастотные источники подложки
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629686

Lignende værker

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок
af: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Udgivet: (2019)

Моделирование зависимости профилей распределения интенсивностей элементов с учетом неравномерности распыления оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий
af: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Udgivet: (2020)

Коррекция профилей распределения интенсивности элементов с учетом неравномерности распыления оптического эмиссионного спектрометра тлеющего разряда для анализа многослойных покрытий
af: Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Udgivet: (2020)

Теория радиочастотного масс-спектрометра диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
af: Щербакова М. Н.
Udgivet: (Новосибирск, [Б. и.], 1960)

Моделирование тлеющего разряда в полом катоде
af: Нгуен Бао Хынг
Udgivet: (2014)

Математическое моделирование тлеющего разряда постоянного тока
af: Нгуен Бао Хынг
Udgivet: (2013)

Сравнительный анализ тлеющего и дугового разряда
af: Асмандьяров А. Р.
Udgivet: (2014)

Измерение качественных и колличественных характеристик радиочастотного кабеля
af: Киселёв Е. К.
Udgivet: (2014)

Изменение свойств и структуры поверхности пленок политетрафторэтилена в плазме тлеющего разряда
Udgivet: (2017)

Газофазный рост монокристаллов алмаза в плазме аномального тлеющего разряда
af: Митулинский А. С. Александр Сергеевич
Udgivet: (2021)

Характеристики разряда низкого давления в полом катоде большого размера
Udgivet: (2014)

Исследование распределения водорода в титановом сплаве ВТ1-0 методом оптической спектрометрии высокочастотного тлеющего разряда
af: Николаева А. Н.
Udgivet: (2013)

Моделирование тлеющего разряда в газе (Ar, N2) низкого давления в полом катоде
af: Нгуен Бао Хынг
Udgivet: (2014)

Коррекция вклада источника TI44
af: Ломыгин А. Антон
Udgivet: (2017)

Синтез материала-накопителя водорода Ti21,5V40Cr38,5 методом плавления в плазме аномального тлеющего разряда
af: Жданов А. Е. Андрей Евгеньевич
Udgivet: (2022)

Нанотехнологии в электронике-3.1
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2016)

Синтез материала накопителя на основе Ti21.5V40Cr38.5, полученного методом плавления в плазме аномального тлеющего разряда
af: Жданов А. Е. Андрей Евгеньевич
Udgivet: (2022)

Т. 1: Международная и национальная системы управления РЧС. Радиоконтроль и радионадзор
Udgivet: (2012)

Radiation processes and phenomena in nanocomposite coatings
Udgivet: (2016)

Совместное использование методов Оже-спектроскопии и оптической эмиссионной спектрометрии тлеющего разряда для исследования электронной структуры мультислойных покрытий, композиционных материалов и сплавов
Udgivet: (2020)

Применение импульсного источника питания для обеззараживания воды диафрагменным электрическим разрядом диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.14.12
af: Какауров С. В. Сергей Владимирович
Udgivet: (Чита, 2016)

Источники стандартных сигналов учебное пособие
af: Карпов Р. Г. Римм Григорьевич
Udgivet: (Рязань, 1976)

Наноструктурные и нанокомпозитные сверхтвердые покрытия
Udgivet: (2005)

Моделирование генерации плазмы и электронного пучка в источниках с плазменным катодом диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.20
af: Нгуен Бао Хынг
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2016)

Толстые плёнки радиоэлектроники. Физико-технические основы, гетероструктурные среды, приложения
af: Подвигалкин В. Я.
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления
af: Савельев А. И.
Udgivet: (2023)

Управляемый блок питания электромагнита спектрометра ЭПР
af: Зайнуллин Р. Р.
Udgivet: (2011)

Nanosecond Triggering for Sealed-Off Cold Cathode Thyratrons With a Trigger Unit Based on an Auxiliary Glow Discharge
Udgivet: (2015)

Молекулярные и цитогенетические реакции клеток на биосовместимые имплантаты для регенерации костной ткани
Udgivet: (2013)

Тлеющий разряд повышенного давления
af: Голубев В. С. Владимир Сергеевич
Udgivet: (Москва, Наука, 1990)

Исследование закономерности формирования плазмы в большом объеме с использованием высокочастотного короткоимпульсного напряжения
Udgivet: (2012)

Радиочастотные кабели связи учебное пособие
af: Сапугольцева О. В. Ольга Владимировна
Udgivet: (Томск, Изд-во ТПУ, 2024)

Системный анализ для выбора источника энергии
af: Маюрова А. С.
Udgivet: (2017)

Радиочастотные кабели учебное пособие
af: Белоруссов Н. И.
Udgivet: (Москва, Госэнергоиздат, 1959)

Линейные схемы. Руководство по проектированию пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2011)

Радиочастотные кабели
af: Гальперович Д. Я. Давид Яковлевич
Udgivet: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)

Физика тлеющего разряда
af: Кудрявцев А. А.
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Разработка источника питания для индуктивной нагрузки
af: Сонин К. В.
Udgivet: (2014)

Разработка высоковольтного импульсного источника питания для электрокоагуляционной очистки воды
af: Шарафутдинов Р. Н.
Udgivet: (2005)

Синтез нанокомпозитов на основе SnO2, легированного CoOx
af: Голубчук А. А.
Udgivet: (2011)