Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 208-210] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Modern technologies cannot do without materials with special characteristics, some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various areas ranging from optics to protective films from any effects. The characteristics of these films mainly depend on two factors of composition and structure. These factors must be carefully controlled, but one method of controlling the elemental composition is glow discharge spectrometry. This study aims to study the sputtering modes for a pulsed radio frequency source of a glow discharge spectrometer DG-Profiler 2. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2019
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629686 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 629686 | ||
| 005 | 20231215132351.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\30429 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\30428 | ||
| 090 | |a 629686 | ||
| 100 | |a 20190905d2019 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 100zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок |d Selection of operation modes of the radio-frequency source of glow disharge optical emission spectrometer GD-Profiler 2 for analysis of thin films |f А. Ломыгин |g науч. рук. Р. С. Лаптев | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 210 (3 назв.)] | ||
| 330 | |a Modern technologies cannot do without materials with special characteristics, some of these materials are coatings and thin films. Coatings and thin films are used in various areas ranging from optics to protective films from any effects. The characteristics of these films mainly depend on two factors of composition and structure. These factors must be carefully controlled, but one method of controlling the elemental composition is glow discharge spectrometry. This study aims to study the sputtering modes for a pulsed radio frequency source of a glow discharge spectrometer DG-Profiler 2. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\30347 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2019 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\30348 |t Т. 1 : Физика |v [С. 208-210] |d 2019 | |
| 510 | 1 | |a Selection of operation modes of the radio-frequency source of glow disharge optical emission spectrometer GD-Profiler 2 for analysis of thin films |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a режимы работы | |
| 610 | 1 | |a спектрометры | |
| 610 | 1 | |a тлеющие разряды | |
| 610 | 1 | |a тонкие пленки | |
| 610 | 1 | |a спектрометрия | |
| 610 | 1 | |a нанокомпозитные покрытия | |
| 610 | 1 | |a импульсные источники | |
| 610 | 1 | |a радиочастотные источники | |
| 610 | 1 | |a подложки | |
| 700 | 1 | |a Ломыгин |b А. Д. |c физик |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета |f 1997- |g Антон Дмитриевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\44438 |9 21809 | |
| 702 | 1 | |a Лаптев |b Р. С. |c физик, специалист в области неразрушающего контроля |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета, ассистент, кандидат наук |f 1987- |g Роман Сергеевич |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Отделение экспериментальной физики |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23549 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20190925 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55833 | |
| 942 | |c BK | ||