Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
| Источник: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2018 Т. 2 : Химия.— 2018.— [С. 249-251] |
|---|---|
| Главный автор: | Петрюк А. Е. |
| Автор-организация: | Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) |
| Другие авторы: | Чистоедова А. А. (научный руководитель), Смирнов С. В. |
| Примечания: | Заглавие с экрана This article describes the optical properties of ITO films obtained by magnetron sputtering. Transmittance and reflection spectra in the infrared wavelength range were studied. |
| Язык: | русский |
| Опубликовано: |
2018
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50782 |
| Формат: | Электронный ресурс Статья |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=627557 |
Схожие документы
Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2019)
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2019)
Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)
Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009)
Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2020)
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2020)
Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Опубликовано: (2022)
по: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Опубликовано: (2022)
Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Петрова Ю. С.
Опубликовано: (2009)
по: Петрова Ю. С.
Опубликовано: (2009)
Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2009)
по: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Опубликовано: (2009)
Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Шаронова А. А. Анна Александровна
Опубликовано: (2013)
по: Шаронова А. А. Анна Александровна
Опубликовано: (2013)
Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Целовальникова А. Е.
Опубликовано: (2019)
по: Целовальникова А. Е.
Опубликовано: (2019)
Анализ морфологии поверхности и оптических свойств пленок сульфида олова, полученных DC-магнетронным распылением; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
по: Дронова М. В.
Опубликовано: (2015)
по: Дронова М. В.
Опубликовано: (2015)
Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Опубликовано: (2016)
Опубликовано: (2016)
Radiation-induced deposition of transparent conductive tin oxide coatings; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015)
по: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Опубликовано: (2016)
по: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Опубликовано: (2016)
Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Андреева М. А.
Опубликовано: (2016)
по: Андреева М. А.
Опубликовано: (2016)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2018)
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2018)
The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Опубликовано: (2016)
Опубликовано: (2016)
Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2012)
по: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Опубликовано: (2012)
Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
по: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Опубликовано: (2016)
по: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Опубликовано: (2016)
Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Bozheyev F. E.
Опубликовано: (2012)
по: Bozheyev F. E.
Опубликовано: (2012)
Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
по: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2016)
по: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2016)
Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Цао Янь
Опубликовано: (2007)
по: Цао Янь
Опубликовано: (2007)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2018)
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2018)
The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
по: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Опубликовано: (2014)
по: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Опубликовано: (2014)
Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Петраков Ю. В.
Опубликовано: (2017)
по: Петраков Ю. В.
Опубликовано: (2017)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, 2018)
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, 2018)
Influence irradiation argon ion SnO[2] on optical and electrical characteristics; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
по: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Опубликовано: (2017)
по: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Опубликовано: (2017)
Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 1
по: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Опубликовано: (2014)
по: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Опубликовано: (2014)
Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
по: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Опубликовано: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
по: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Опубликовано: (Нальчик, [Б. и.], 2016)
Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Опубликовано: (2013)
Опубликовано: (2013)
Исследование полупроводниковых пленок CU2S методами атомно-силовой микроскопии; Современное материаловедение: материалы и технологии новых поколений
по: Дронова М. В.
Опубликовано: (2014)
по: Дронова М. В.
Опубликовано: (2014)
Элементно-фазовый состав YAG:Ce покрытий, полученных при высокоскоростном магнетронном осаждении; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Рунц А. А. Артем Алексеевич
Опубликовано: (2024)
по: Рунц А. А. Артем Алексеевич
Опубликовано: (2024)
Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
по: Загузин И. Ю.
Опубликовано: (2018)
по: Загузин И. Ю.
Опубликовано: (2018)
Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
по: Шлома Ю. П.
Опубликовано: (2014)
по: Шлома Ю. П.
Опубликовано: (2014)
Применение состава остаточных газов в вакуумной камере в процессе осаждения плёнки Ti; Приборы и техника эксперимента; № 3
по: Перекрестов В. И.
Опубликовано: (2002)
по: Перекрестов В. И.
Опубликовано: (2002)
Нанесение покрытий в вакууме
Опубликовано: (Рига, Зинатне, 1986)
Опубликовано: (Рига, Зинатне, 1986)
Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, 2018)
по: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Опубликовано: (Томск, 2018)
The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Опубликовано: (2014)
Опубликовано: (2014)
Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Опубликовано: (2015)
Опубликовано: (2015)
Исследование тонких плёнок оксида алюминия на титане; Перспективы развития фундаментальных наук
по: Чэнь Ле
Опубликовано: (2013)
по: Чэнь Ле
Опубликовано: (2013)
Modification of optical and electrical properties of SnO[2] under the influence of argon ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
по: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Опубликовано: (2017)
по: Umnov S. P. Sergey Pavlovich
Опубликовано: (2017)
Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
Опубликовано: (2012)
Опубликовано: (2012)
Схожие документы
-
Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2019) -
Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009) -
Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
по: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Опубликовано: (2009) -
Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Сунь Чжилэй
Опубликовано: (2020) -
Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
по: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Опубликовано: (2022)