О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Podrobná bibliografie
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2018 Т. 1 : Физика.— 2018.— [С. 102-104]
Hlavní autor:	Гренадёров А. С.
Korporativní autor:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Další autoři:	Соловьёв А. А. (научный руководитель)
Shrnutí:	Заглавие с экрана The a-C:H:SiOx films was deposited on glass substrates by plasma-assisted chemical vapor deposition combined with pulsed bipolar substrate bias from mixtures of argon and polyphenylmethylsiloxane vapor. Optical properties of a-C:H:SiOx films were investigated and studied using the transmission spectrum T(lambda) in visible range 300-800 nm. It is shown that integrat ed transparency of a-C:H:SiOx films in visible range from 380-780 nm is 70-89%, band gap is 2,3-2,6 eV, band tail width or Urbach energy is 547-718 meV depend on deposition conditions.
Jazyk:	ruština
Vydáno:	2018
Témata:	электронный ресурс осаждение механические свойства оптические свойства кремний-углеродные пленки давление аргон
On-line přístup:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947
Médium:	MixedMaterials Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=627386

Podobné jednotky

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.04
Autor: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2018)

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
Vydáno: (2017)

Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
Autor: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Vydáno: (Омск, 2003)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
Autor: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Vydáno: (Омск, [Б. и.], 2003)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Autor: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Vydáno: (Омск, [Б. и.], 2003)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Autor: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Vydáno: (Томск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Autor: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Vydáno: (Якутск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
Autor: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Vydáno: (Томск, 2023)

Влияние легирующей примеси на электронные свойства поверхности углеродных плёнок; Письма в Журнал технической физики; Т. 28, вып. 14
Autor: Симонов С. В.
Vydáno: (2002)

Клеточно-молекулярные вопросы гемо- и биосовместимости алмазоподобных углеродных пленок. Краткий критический обзор; Цитология; Т. 63, № 3
Vydáno: (2021)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Autor: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Vydáno: (Томск, 1998)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Autor: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 1998)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Vydáno: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Бельгебаева Д. Е.
Vydáno: (2019)

Оптические свойства пленок GaAs, осажденных импульсной ионной абляцией; ФВЗЧК-2010
Autor: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Vydáno: (2010)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Autor: Сунь Чжилэй
Vydáno: (2019)

Микроструктура и свойства пленок Co, формируемых методом химического осаждения; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Autor: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Vydáno: (2013)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
Autor: Смирнова К. И.
Vydáno: (Томск, 1971)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
Autor: Васильев В. Ю.
Vydáno: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
Autor: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Vydáno: (2013)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
Autor: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Vydáno: (2014)

Осаждение пленок арсенида галлия на кремнии импульсной ионной абляцией и их свойства; Взаимодействие излучений с твердым телом
Vydáno: (2011)

Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками; Перспективы развития фундаментальных наук
Autor: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Vydáno: (2014)

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики; Прикладная физика; № 6
Vydáno: (2021)

Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения; Современное состояние и проблемы естественных наук
Autor: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Vydáno: (2014)

Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge); Современные технологии и материалы новых поколений
Autor: Золкин А. С.
Vydáno: (2017)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
Autor: Петрюк А. Е.
Vydáno: (2018)

Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения; Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)
Vydáno: (2007)

Электрохимия углеродных материалов
Autor: Тарасевич М. Р. Михаил Романович
Vydáno: (Москва, Наука, 1984)

Ч. 1 : Молекулярная, лазерная эпитаксия. Распределение примесей и дефектов; Рост полупроводниковых кристаллов и пленок
Vydáno: (Новосибирск, Наука, 1984)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
Autor: Лютович А. С.
Vydáno: (Ташкент, Фан, 1982)

Теплофизические и оптические свойства аргоновой плазмы
Autor: Кацнельсон С. С. Савелий Семёнович
Vydáno: (Новосибирск, Наука, 1985)

Обнаружение фотопроводимости в сверхтонких металлических пленках в видимой инфракрасной областях спектра; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 5
Vydáno: (2003)

Элементарный кремний: учебное пособие
Autor: Торопов Н. А. Никита Александрович
Vydáno: (Ленинград, 1963)

Физические свойства углеродных материалов: [сборник статей]
Vydáno: (Челябинск, Изд-во ЧГПИ, 1983)

Синхронная генерация третьей гармоники в анизотропно наноструктурированном кремнии; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 1
Vydáno: (2004)

Влияние технологии введения углеродных нанотрубок разного типа на физико-механические и электропроводящие свойства саженаполненных композиций; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
Autor: Таракановская А. Н.
Vydáno: (2018)

Оптические свойства тонких диэлектрических пленок учебное пособие
Autor: Твердохлеб П. Е.
Vydáno: (Новосибирск, НГТУ, 2019)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Vydáno: (1979)

Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Vydáno: (2022)