О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 24-27 апреля 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2018 Т. 1 : Физика.— 2018.— [С. 102-104]
1. Verfasser:	Гренадёров А. С.
Körperschaft:	Российская академия наук (РАН) Сибирское отделение (СО) Институт сильноточной электроники (ИСЭ)
Weitere Verfasser:	Соловьёв А. А. (научный руководитель)
Zusammenfassung:	Заглавие с экрана The a-C:H:SiOx films was deposited on glass substrates by plasma-assisted chemical vapor deposition combined with pulsed bipolar substrate bias from mixtures of argon and polyphenylmethylsiloxane vapor. Optical properties of a-C:H:SiOx films were investigated and studied using the transmission spectrum T(lambda) in visible range 300-800 nm. It is shown that integrat ed transparency of a-C:H:SiOx films in visible range from 380-780 nm is 70-89%, band gap is 2,3-2,6 eV, band tail width or Urbach energy is 547-718 meV depend on deposition conditions.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2018
Schlagworte:	электронный ресурс осаждение механические свойства оптические свойства кремний-углеродные пленки давление аргон
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/50947
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=627386

Ähnliche Einträge

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
Veröffentlicht: (2017)

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.04
von: Гренадёров А. С. Александр Сергеевич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 2018)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
von: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Veröffentlicht: (Томск, 2023)

Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
von: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Veröffentlicht: (Омск, 2003)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.08
von: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Veröffentlicht: (Омск, [Б. и.], 2003)

Влияние легирующей примеси на электронные свойства поверхности углеродных плёнок; Письма в Журнал технической физики; Т. 28, вып. 14
von: Симонов С. В.
Veröffentlicht: (2002)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
von: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Veröffentlicht: (Якутск, 2023)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
von: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Veröffentlicht: (Томск, 2023)

Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
von: Худайбергенов Г. Ж. Гамзат Жапарович
Veröffentlicht: (Омск, [Б. и.], 2003)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
von: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, 1998)

Клеточно-молекулярные вопросы гемо- и биосовместимости алмазоподобных углеродных пленок. Краткий критический обзор; Цитология; Т. 63, № 3
Veröffentlicht: (2021)

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Бельгебаева Д. Е.
Veröffentlicht: (2019)

Оптические свойства пленок GaAs, осажденных импульсной ионной абляцией; ФВЗЧК-2010
von: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Veröffentlicht: (2010)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
von: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Veröffentlicht: (Томск, [Б. и.], 1998)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Veröffentlicht: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
von: Сунь Чжилэй
Veröffentlicht: (2019)

Микроструктура и свойства пленок Co, формируемых методом химического осаждения; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2013)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
von: Смирнова К. И.
Veröffentlicht: (Томск, 1971)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2013)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2014)

Осаждение пленок арсенида галлия на кремнии импульсной ионной абляцией и их свойства; Взаимодействие излучений с твердым телом
Veröffentlicht: (2011)

Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками; Перспективы развития фундаментальных наук
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2014)

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики; Прикладная физика; № 6
Veröffentlicht: (2021)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
von: Петрюк А. Е.
Veröffentlicht: (2018)

Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения; Современное состояние и проблемы естественных наук
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2014)

Полупроводниковые плёнки InP полученные методом импульсного ионного осаждения; Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микроэлектроники)
Veröffentlicht: (2007)

Электрохимия углеродных материалов
von: Тарасевич М. Р. Михаил Романович
Veröffentlicht: (Москва, Наука, 1984)

Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge); Современные технологии и материалы новых поколений
von: Золкин А. С.
Veröffentlicht: (2017)

Теплофизические и оптические свойства аргоновой плазмы
von: Кацнельсон С. С. Савелий Семёнович
Veröffentlicht: (Новосибирск, Наука, 1985)

Элементарный кремний: учебное пособие
von: Торопов Н. А. Никита Александрович
Veröffentlicht: (Ленинград, 1963)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
von: Лютович А. С.
Veröffentlicht: (Ташкент, Фан, 1982)

Ч. 1 : Молекулярная, лазерная эпитаксия. Распределение примесей и дефектов; Рост полупроводниковых кристаллов и пленок
Veröffentlicht: (Новосибирск, Наука, 1984)

Синхронная генерация третьей гармоники в анизотропно наноструктурированном кремнии; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 1
Veröffentlicht: (2004)

Влияние технологии введения углеродных нанотрубок разного типа на физико-механические и электропроводящие свойства саженаполненных композиций; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
von: Таракановская А. Н.
Veröffentlicht: (2018)

Обнаружение фотопроводимости в сверхтонких металлических пленках в видимой инфракрасной областях спектра; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 5
Veröffentlicht: (2003)

Физические свойства углеродных материалов: [сборник статей]
Veröffentlicht: (Челябинск, Изд-во ЧГПИ, 1983)

Физические свойства углеродных материалов
Veröffentlicht: (Челябинск, 1988)

Нанокомпозиты на основе углеродных нанотрубок; Современные техника и технологии; Т. 3
von: Александрова В. М.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co; Химия и технология полимерных и композиционных материалов
von: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Veröffentlicht: (2012)

Технический кремний
von: Венгин С. И. Сергей Иванович
Veröffentlicht: (Москва, Металлургия, 1972)