|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
625348 |
| 005 |
20260824155938.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\24608
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\24605
|
| 090 |
|
|
|a 625348
|
| 100 |
|
|
|a 20171212d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Свойства аморфных углеродных гидогенизированных пленок на германии. Ионно-лучевая технология
|f А. И. Семерикова
|g науч. рук. А. С. Золкин
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Технологии материалов новых поколений и наноматериалов
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 107 (3 назв.)
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\24481
|t Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
|o сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Яковлева
|v [С. 106-107]
|d 2017
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные ресурсы
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a оптика
|
| 610 |
1 |
|
|a Ик-диапазоны
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 700 |
|
1 |
|a Семерикова
|b А. И.
|
| 702 |
|
1 |
|a Золкин
|b А. С.
|4 727
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171220
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45495
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
