Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) - Золкин А. С. (Технологии материалов новых поколений и наноматериалов, 2017)
Заглавие с титульного экрана