|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
625300 |
| 005 |
20231101133345.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\24560
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\24559
|
| 090 |
|
|
|a 625300
|
| 100 |
|
|
|a 20171211d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок
|f А. С. Золкин, С. В. Семенов
|g науч. рук. А. С. Золкин
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Технологии материалов новых поколений и наноматериалов
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 665 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 60 (4 назв.)]
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\24481
|t Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
|o сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Яковлева
|v [С. 59-60]
|d 2017
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные ресурсы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a источники напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a ток
|
| 610 |
1 |
|
|a источники питания
|
| 610 |
1 |
|
|a амплитуда
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 700 |
|
1 |
|a Золкин
|b А. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Семенов
|b С. В.
|
| 702 |
|
1 |
|a Золкин
|b А. С.
|4 727
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171220
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45469
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
