Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
| Parent link: | Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017).— 2017.— [С. 59-60] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Заглавие с титульного экрана |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2017
|
| Serie: | Технологии материалов новых поколений и наноматериалов |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45469 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625300 |
| Riassunto: | Заглавие с титульного экрана |
|---|