Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)

Bibliografske podrobnosti
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017).— 2017.— [С. 45-46]
Korporativna značnica:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Drugi avtorji:	Гренадёров А. С. (научный руководитель), Оскомов К. В., Работкин С. В., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Izvleček:	Заглавие с титульного экрана
Jezik:	ruščina
Izdano:	2017
Serija:	Технологии материалов новых поколений и наноматериалов
Teme:	труды учёных ТПУ электронные ресурсы оптические элементы ИК-системы алмазоподобные покрытия кремний-углерод графитизация монокристаллический кремний
Online dostop:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418
Format:	Elektronski Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625293

Internet