|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
625293 |
| 005 |
20240126093008.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\24553
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\24550
|
| 090 |
|
|
|a 625293
|
| 100 |
|
|
|a 20171208d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок
|f А. С. Гренадёров [и др.]
|g науч. рук. А. А. Соловьёв
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Технологии материалов новых поколений и наноматериалов
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 45-46 (10 назв.)]
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\24481
|t Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
|o сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Яковлева
|v [С. 45-46]
|d 2017
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные ресурсы
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a ИК-системы
|
| 610 |
1 |
|
|a алмазоподобные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний-углерод
|
| 610 |
1 |
|
|a графитизация
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллический кремний
|
| 701 |
|
1 |
|a Гренадёров
|b А. С.
|
| 701 |
|
1 |
|a Оскомов
|b К. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Работкин
|b С. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Соловьёв
|b А. А.
|c специалист в области водородной энергетики
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1977-
|g Андрей Александрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28694
|9 13504
|
| 701 |
|
1 |
|a Сыпченко
|b В. С.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат наук
|f 1987-
|g Владимир Сергеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28216
|9 13170
|
| 702 |
|
1 |
|a Соловьёв
|b А. А.
|c специалист в области водородной энергетики
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1977-
|g Андрей Александрович
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171220
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
