Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок

Bibliographic Details
Parent link:	Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017).— 2017.— [С. 45-46]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors:	Гренадёров А. С. (727), Оскомов К. В., Работкин С. В., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2017
Series:	Технологии материалов новых поколений и наноматериалов
Subjects:	труды учёных ТПУ электронные ресурсы оптические элементы ИК-системы алмазоподобные покрытия кремний-углерод графитизация монокристаллический кремний
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625293

Description
Summary:	Заглавие с титульного экрана

Similar Items