Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок

Bibliographic Details
Parent link:Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017): сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Яковлева. [С. 45-46].— , 2017
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors: Гренадёров А. С. (727), Оскомов К. В., Работкин С. В., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Summary:Заглавие с титульного экрана
Published: 2017
Series:Технологии материалов новых поколений и наноматериалов
Subjects:
труды учёных ТПУ
электронные ресурсы
оптические элементы
ИК-системы
алмазоподобные покрытия
кремний-углерод
графитизация
монокристаллический кремний
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45418
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625293
Description
Summary:Заглавие с титульного экрана

Similar Items