Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Гренадёров А. С., Оскомов К. В., Работкин С. В., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, & Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич. (2017). Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017). 2017.
Cita Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Гренадёров А. С., Оскомов К. В., Работкин С. В., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, i Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич. Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017). 2017, 2017.
Cita MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017). 2017, 2017.