Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Гренадёров А. С., Оскомов К. В., Работкин С. В., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, & Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич. (2017). Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок. 2017.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), Гренадёров А. С., Оскомов К. В., Работкин С. В., Соловьёв А. А. Андрей Александрович, and Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич. Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок. 2017, 2017.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ), et al. Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок. 2017, 2017.