Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов

Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов

Bibliographic Details
Parent link:"Орбита молодёжи" и перспективы развития российской космонавтики: сборник докладов Всероссийской молодёжной научно-практической конференции, г. Томск, 18-22 сентября 2017 г./ Российская Федерация, Федеральное космическое агентство (Роскосмос) ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ) ; Полюс. [С. 181-182].— , 2017
Main Author: Голубовская Н. О.
Summary:Заглавие с экрана
Language:Russian
Published: 2017
Series:Новые материалы и вещества для применения в ракетно-космической технике
Subjects:
электронный ресурс
очистка
газовые среды
выращивание
полупроводниковые монокристаллы
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625141

Similar Items

Similar Items