|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
625141 |
| 005 |
20231101133340.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\24401
|
| 090 |
|
|
|a 625141
|
| 100 |
|
|
|a 20171207d2017 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Разработка способа очистки газовой среды в процессе выращивания полупроводниковых монокристаллов
|f Н. О. Голубовская
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Новые материалы и вещества для применения в ракетно-космической технике
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 195 Кб)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 182 (5 назв.)]
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\23829
|t "Орбита молодёжи" и перспективы развития российской космонавтики
|o сборник докладов Всероссийской молодёжной научно-практической конференции, г. Томск, 18-22 сентября 2017 г.
|f Российская Федерация, Федеральное космическое агентство (Роскосмос) ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт физики прочности и материаловедения (ИФПМ) ; Полюс
|v [С. 181-182]
|d 2017
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые среды
|
| 610 |
1 |
|
|a выращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые монокристаллы
|
| 700 |
|
1 |
|a Голубовская
|b Н. О.
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171208
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/44825
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
