Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра технологии силикатов и наноматериалов (ТСН), Тырышкина Е. В., Шульженко А. С., Ревва И. Б. Инна Борисовна, & Дитц А. А. Александр Андреевич. (2017). Технологические особенности получения оксинитрида алюминия. 2017.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра технологии силикатов и наноматериалов (ТСН), Тырышкина Е. В., Шульженко А. С., Ревва И. Б. Инна Борисовна, and Дитц А. А. Александр Андреевич. Технологические особенности получения оксинитрида алюминия. 2017, 2017.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра технологии силикатов и наноматериалов (ТСН), et al. Технологические особенности получения оксинитрида алюминия. 2017, 2017.